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일측에 가스주입구를 구비하며, 내부에 플라즈마를 발생시키는 진공챔버부;상기 가스주입구와 서로 대응되도록 설치되며, 코팅기재가 장착되는 코팅기재부;상기 진공챔버부 내에 위치하여, 상기 코팅기재에 적외선을 인가하여 부식을 촉진시키는 부식촉진부; 상기 코팅기재에 고주파 전압을 인가하는 바이어스 전력부; 및상기 코팅기재에서 발생하는 탈기체와 오염입자를 검출하여 부식정도를 측정하는 오염입자 측정부;를 포함하며,상기 부식촉진부는 상기 코팅기재에 적외선을 인가하는 적외선 발광유닛, 상기 발광유닛의 초점을 조절하는 초점조절 유닛 및 상기 적외선 발광유닛의 길이를 조절하는 길이조절 유닛을 포함하며,상기 적외선 발광유닛을 이용하여 상기 코팅기재부에 장착되는 코팅기재에 적외선을 인가하여 상기 코팅기재를 100 내지 500℃ 의 온도로 유지시키는 것을 특징으로 하는 코팅기재의 부식촉진 장치
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제1항에 있어서,상기 코팅기재부를 지지하고, 상기 코팅기재부에 상기 바이어스 전력부를 통하여 인가된 고주파 전압을 전달하는 바이어스 전달기판를 포함하는 코팅기재의 부식촉진 장치
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제2항에 있어서,상기 바이어스 전력부는상기 바이어스 전달기판과 서로 연결하는 전선부; 및상기 전선부에 연결되어, 상기 전선부를 냉각시키는 전선 냉각부;를 포함하는 코팅기재의 부식촉진 장치
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제1항에 있어서,상기 오염입자 측정부는상기 탈기체의 성분을 측정하는 사중극 기체성분(QMS)센서; 및상기 오염입자의 크기 및 발생량을 측정하는 오염입자 측정센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 부식촉진 장치
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제1항, 제2항, 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 따른 코팅기재의 부식촉진 장치를 이용하여,a) 상기 코팅기재를 코팅기재부에 장착하는 단계;b) 상기 바이어스 전력부에 고주파 전압을 인가하여, 상기 진공챔버부 내에 플라즈마를 발생시키는 단계;c) 상기 코팅기재에 적외선을 인가하여 코팅기재를 부식시키는 단계;d) 상기 코팅기재에서 발생하는 오염입자를 측정하는 단계; 및e) 상기 발생된 오염입자를 이용하여 상기 코팅기재의 신뢰성을 평가하는 단계; 를 포함하는 코팅기재의 신뢰성 시험방법
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제6항에 있어서,상기 b) 단계는상기 바이어스 전력부는 2 ㎒, 13
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제6항에 있어서,상기 d) 단계는상기 코팅기재에서 발생하는 탈기체를 검출하는 단계; 및상기 코팅기재에서 발생하는 오염입자의 발생량 및 상기 오염입자의 크기를 검출하는 단계; 를 포함하는 코팅기재의 신뢰성 시험방법
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제9항에 있어서,상기 e) 단계는상기 적외선을 인가함으로써 나타나는 코팅기재의 온도에 따라 검출되는 탈기체의 종류, 상기 오염입자의 발생량 또는 상기 오염입자의 크기를 분석하여 신뢰성을 평가하는 것을 특징으로 하는 신뢰성 시험방법
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