맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

교환가능한 전자현미경용 전자총 및 이를 포함하는 전자현미경(REPLACEABLE ELECTRON GUN FOR ELECTRON MICROSCOPE AND ELECTRON MICROSCOPE COMPRISING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2018006173
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공배기 후에 진공배기라인 연결부를 밀봉하고 게터를 전자총 내부에 포함시켜 진공을 유지하며 교환 가능한 전자총 및 이를 포함하는 전자현미경에 관한 것으로, 진공배기 후에 진공배기라인 연결부를 밀봉하고 게터를 전자총 내부에 포함시켜 진공을 유지하며, 전자현미경용 전자총을 전자빔 칼럼에서 분리 가능하여 손쉽게 교체가 가능하고, 전자빔 광학계와 함께 전자현미경을 구성하거나, 기존의 전자현미경의 전자총 교체용품으로 사용이 가능하여 경제적이다.
Int. CL H01J 37/06 (2006.01.01) H01J 37/26 (2006.01.01)
CPC H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01)
출원번호/일자 1020160152501 (2016.11.16)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0055097 (2018.05.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.16)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조복래 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-1117675-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0180764-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0873941-17
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0104572-24
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.01.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0104596-19
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2018.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0379726-87
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0562927-59
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.06.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0562912-75
10 등록결정서
Decision to grant		 2018.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0469559-92
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경으로,상기 전자현미경은, 진공 유지를 위한 게터(getter)를 내부 공간에 포함하고, 진공배기용 배기관을 구비한 관형 측면부; 상기 관형 측면부 상부와 일체로 구성되거나 밀봉 연결된 상면부 평판; 상기 상면부 평판의 아래쪽에 위치하며 전자빔을 방출하는 전자빔 발생부; 상기 상면부 평판을 통과하여 일 단부가 상기 전자빔 발생부와 전기적으로 연결되고, 타 단부가 외부 배선부로 연결되는 피드스루(feedthrough); 및 상기 관형 측면부와 일체로 구성되거나 밀봉 연결되고, 상기 전자빔 발생부의 전자 방출방향과 대향하는 위치에 전자빔 통과박막을 구비한 하면부 평판을 포함하고, 상기 진공배기용 배기관은 진공배기 후에 밀봉된 전자총;상기 전자총 하면부 평판의 상기 통과박막을 통과한 전자빔이 입사하는 입사공을 상면에 구비한 전자빔 경통;상기 경통을 통과한 전자빔이 입사하는 시료실; 상기 경통과 상기 시료실의 진공을 배기하는 진공펌프; 및상기 전자총 상면부에 노출된 피드스루(feedthrough)와 연결되는 배선부를 포함하고,상기 전자총의 하면부 평판과 상기 전자빔 경통의 상면은 체결부를 통해 서로 체결되는,교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경
2 2
교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경으로,상기 전자현미경은, 상기 전자총은 진공 유지를 위한 게터(getter)를 내부 공간에 포함하고, 진공배기용 배기관을 구비한 관형 측면부; 상기 관형 측면부 상부와 일체로 구성되거나 밀봉 연결되는 상면부 평판; 상기 관형 측면부와 일체로 구성되거나 밀봉 연결되고, 전자빔 통과박막을 구비한 하면부 평판; 상기 하면부 평판의 위쪽에 위치하며, 상기 전자빔 통과박막과 대향하는 위치로 전자빔을 방출하는 전자빔 발생부; 및 상기 하면부 평판을 통과하여 일 단부가 상기 전자빔 발생부와 전기적으로 연결되고, 타 단부가 외부 배선부로 연결되는 피드스루(feedthrough)를 포함하고, 상기 진공배기용 배기관은 진공배기 후에 밀봉된, 전자총;상기 전자총 하면부 평판의 상기 통과박막을 통과한 전자빔이 입사하는 입사공을 상면에 구비한 전자빔 경통;상기 경통을 통과한 전자빔이 입사하는 시료실; 상기 경통과 상기 시료실의 진공을 배기하는 진공펌프; 및상기 전자총 하면부에 노출된 피드스루(feedthrough)와 연결되는 배선부를 상기 상면에 포함하고,상기 전자총의 하면부 평판과 상기 전자빔 경통의 상면은 체결부를 통해 서로 체결되는,교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 전자빔 발생부는 재료가 텅스텐, LaB6(lanthanium hexaboride) 또는 CeB6(Cerium hexaboride)인 열방사형 전자원;전계방사형(field emission) 전자원; 또는상온 전계방사형(cold field emission) 전자원인,교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경
4 4
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 게터는 상기 관형 측면부의 내벽에 위치하는,교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경
5 5
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 전자빔 통과박막은 질화실리콘(Si3N4)이고 두께가 20 내지 200nm인, 교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경
6 6
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 전자빔 통과박막은 상기 하면부의 중심에 위치하는, 교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 체결부는 요철구조, 고정용 리벳, 고정 나사 및 탈착 고리를 포함하는 체결부재 중 하나이상인,교환가능한 전자총을 구비한 전자현미경
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2018093157 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2018093157 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 기본사업 3-2-1하전입자빔기반신물질측정기술개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가과학기술연구회운영비지원 멀티스케일 3차원 이미징을 위한 융합현미경 개발