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환원그래핀옥사이드의 미세 패터닝 방법(Micro-patterning Method of Reduce Graphene Oxide)

  • 기술번호 : KST2018006314
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법으로, 기판 위에 음각 몰드를 형성하여 소정 전극 구조를 패터닝하는 단계와, 상기 음각 몰드가 형성된 기판 위에 환원그래핀옥사이드 현탁액을 분사하여 코팅하는 단계와, 상기 음각 몰드를 제거하는 단계를 포함한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) H01L 21/205 (2006.01.01) C01B 31/04 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020160149578 (2016.11.10)
출원인 광운대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0052363 (2018.05.18) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.10)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재영 대한민국 서울특별시 노원구
2 윤효상 대한민국 서울시 노원구
3 선 성 중국 서울특별시 강북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2016-1100162-80
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2017-5046666-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0022255-84
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0697351-05
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1233302-06
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-1233301-50
8 등록결정서
Decision to grant
2018.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0229113-81
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 전극 패턴을 형성하는 단계와,전극 패턴이 형성된 기판 위에서 환원그래핀옥사이드 패턴을 형성할 부분을 제외한 모든 부분에, 환원그래핀옥사이드 현탁액의 용매에 반응하지 않는 소재의 몰드를 형성하는 단계와,몰드가 형성된 기판 위에 환원그래핀옥사이드 현탁액을 균일하게 분사하여 코팅하는 단계와,환원그래핀옥사이드 패턴을 제외하고 환원그래핀옥사이드와 함께 몰드를 제거하여 전극 패턴 위에 환원그래핀옥사이드 패턴을 형성하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 몰드를 형성하는 단계는스크린프린터, UV/Deep UV/laser 기반의 포토리소그래피 및 나노임프린팅 중 적어도 하나를 기반으로 패터닝함을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 몰드는그 소자로 포토레지스트, 에폭시 및 고분자 소재 중 하나를 사용함을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 코팅하는 단계는스프레이 코팅, 스핀 코팅, 드랍(drop) 코팅 및 딥(dip) 코팅 중 하나가 사용됨을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 코팅하는 단계는현탁액의 용매를 증발시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 환원그래핀옥사이드 패턴 위에 전극을 증착하여 촉매 전극을 제작하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 촉매 전극을 제작하는 단계는상기 환원그래핀옥사이드 패턴 위에 항체 또는 효소를 고정화하여 촉매 전극을 제작함을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
8 8
삭제
9 9
제 6항에 있어서, 상기 촉매 전극은팔라듐(Pd) 또는 백금(Pt)의 금속 나노입자, 은 나노 와이어(silver nanowire)를 포함하는 금속 나노 입자 중에 하나임을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
10 10
제 6항에 있어서, 상기 촉매 전극은탄소 계열의 활성탄, 단일벽 탄소나노튜브, 다중벽 탄소 나노튜브 및 탄소 섬유 중에 하나임을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
11 11
제 6항에 있어서, 상기 촉매 전극은전도성 고분자와의 합성물인 것을 특징으로 하는 환원그래핀옥사이드 미세패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.