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기판;상기 기판 상에 형성된 도전성의 라인 패턴; 및상기 라인 패턴 상에 형성되고, 상기 라인 패턴을 흐르는 전류의 방향에 따라 자화 방향을 변경할 수 있는 가변 자성층을 포함하고,상기 라인 패턴은,일직선 상에 형성된 배선층;상기 배선층에 전기적으로 연결되고, 상기 가변 자성층을 수용하기 위한 자성 수용층을 포함하고,상기 가변 자성층은 상기 자성 수용층을 흐르는 전류에 의해 일측이 N극으로 자화되고, 타측이 S극으로 자화되어 하나의 상기 가변 자성층의 동일 평면에서 상기 N극과 상기 S극이 동시에 나타나는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 어레이
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제1항에 있어서, 상기 가변 자성층은 상기 배선층보다 넓은 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 어레이
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제1항에 있어서, 상기 라인 패턴과 상기 가변 자성층 사이에 형성된 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 어레이
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제1항에 있어서, 상기 가변 자성층은 연자성 재료인 강자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 어레이
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제5항에 있어서, 상기 연자성 재료의 보자력은 0
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제5항에 있어서, 상기 가변 자성층은 연질 페라이트, 퍼멀로이(permalloy) 또는 샌더스트(sendust)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 어레이
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라인 패턴에 제1 방향의 전류를 인가하여 상기 라인 패턴 상에 형성된 가변 자성층을 자화시키는 단계;상기 라인 패턴 상에 형성된 가변 자성층을 가지는 이송 어레이를 통해 고정 자성층이 형성된 마이크로 소자에 자기 인력을 인가하여 상기 마이크로 소자를 픽업하는 단계; 및상기 라인 패턴 상에 상기 제1 방향과 반대로 흐르는 전류를 인가하여 상기 가변 자성층의 반전자화를 유도하여 상기 마이크로 소자를 릴리즈하는 단계를 포함하고,상기 가변 자성층을 자화시키는 단계는 상기 라인 패턴을 흐르는 상기 제1 방향의 전류에 의해 일측이 N극으로 자화되고, 타측이 S극으로 자화되어 하나의 상기 가변 자성층의 동일 평면에서 상기 N극과 상기 S극이 동시에 나타나는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제8항에 있어서, 상기 마이크로 소자를 픽업하는 단계는, 상기 마이크로 소자가 배치된 전달 기판으로부터 상기 마이크로 소자를 이탈시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제8항에 있어서, 상기 마이크로 소자를 픽업하는 단계 이후에 상기 이송 어레이에 픽업된 마이크로 소자를 수용 기판 상으로 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제10항에 있어서, 상기 가변 자성층의 자화반전에 의해 상기 가변 자성층과 상기 고정 자성층 사이에는 자기 척력이 작용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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