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전구체 기화 농도 조절을 통한 대면적 단분자층 전이금속 디칼코제나이드 이종접합 구조체 제조방법(Preparing method of heterojunction structure with large-area monolayer transition metal dicalcogenide via controlling the vaporizing concentration of precursors)

  • 기술번호 : KST2018006756
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전구체 기화 농도 조절을 통한 대면적 단분자층 전이금속 디칼코제나이드 이종접합 구조체 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용매에 산화몰리브덴(MoO3)을 첨가한 후 초음파처리하고 교반하는 단계; 상기 교반된 산화몰리브덴 용액을 실리카(SiO2) 기판 상에 적하하고 스핀코팅하여 산화몰리브덴 필름을 증착하는 단계; 상기 산화몰리브덴 필름이 증착된 실리카 기판과 황을 로(furnace)의 일측과 타측에 각각 배치시킨 후 화학기상증착법을 이용하여 로(furnace)의 타측에서 일측으로 황을 도입하여 단분자층 이황화몰리브덴(MoS2) 필름을 얻는 단계; 및 상기 단분자층 이황화몰리브덴(MoS2) 필름 상에 단분자층 이황화텅스텐(WS2) 필름을 전사하여 이황화몰리브덴/이황화텅스텐 이종접합(heterojunction) 구조체를 제조하는 단계를 포함하는, 대면적 단분자층 전이금속 디칼코제나이드 이종접합 구조체 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 제조방법은 파우더 형태의 전구체 대신에 용액-처리된 전구체를 이용함으로써 대면적의 단결정을 가지는 단분자층 전이금속 디칼코게나이드 필름을 합성할 수 있다.
Int. CL C23C 16/30 (2006.01.01) C23C 16/46 (2006.01.01) H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170157878 (2017.11.24)
출원인 숭실대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2019563-0000 (2019.09.02)
공개번호/일자 10-2018-0058647 (2018.06.01) 문서열기
공고번호/일자 (20190906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160157389   |   2016.11.24
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 숭실대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박경원 서울특별시 서초구
2 손정인 충청남도 당
3 이주원 광주광역시 광산구
4 박상연 서울특별시 노원구
5 이영우 서울특별시 성북구
6 곽다희 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 숭실대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-1171795-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.11.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0056226-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0389850-54
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0712272-16
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0712273-62
7 등록결정서
Decision to grant		 2019.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0626387-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
암모니아수에 산화몰리브덴(MoO3)을 첨가한 후 초음파처리하고 교반하는 단계;상기 교반된 산화몰리브덴 용액을 실리카(SiO2) 기판 상에 적하하고 스핀코팅하여 산화몰리브덴 필름을 증착하는 단계;상기 산화몰리브덴 필름이 증착된 실리카 기판과 황을 로(furnace)의 일측과 타측에 각각 배치시킨 후 화학기상증착법을 이용하여 로(furnace)의 타측에서 일측으로 황을 도입하여 단분자층 이황화몰리브덴(MoS2) 필름을 얻는 단계; 및상기 단분자층 이황화몰리브덴(MoS2) 필름 상에 단분자층 이황화텅스텐(WS2) 필름을 전사하여 이황화몰리브덴/이황화텅스텐 이종접합(heterojunction) 구조체를 제조하는 단계를 포함하는, 대면적 단분자층 전이금속 디칼코제나이드 이종접합 구조체 제조방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 산화몰리브덴 용액는,농도가 10 내지 30 mg/㎖인 것을 특징으로 하는, 대면적 단분자층 전이금속 디칼코제나이드 이종접합 구조체 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 산화몰리브덴 필름을 증착하는 단계는,교반된 산화몰리브덴 용액을 실리카(SiO2) 기판 상에 적하하고 30초 내지 90초 동안 2000 내지 4000 rpm으로 스핀코팅하여 산화몰리브덴 필름을 증착하는 것을 특징으로 하는, 대면적 단분자층 전이금속 디칼코제나이드 이종접합 구조체 제조방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 화학기상증착법은,로(furnace)의 온도를 200 내지 400℃로 가열시킨 후 500 내지 1500 sccm의 아르곤 가스 흐름 하에서 10 내지 30분 동안 유지하여 산소와 물을 제거하는 단계, 및산소와 물이 제거된 후 100 내지 200 sccm의 아르곤 가스 흐름 하에서 10 내지 30 ℃/min의 가열속도로 800℃까지 가열하는 단계인 것을 특징으로 하는, 대면적 단분자층 전이금속 디칼코제나이드 이종접합 구조체 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 숭실대학교 산학협력단 에너지국제공동연구사업 고기능 다차원 탄소 나노 융합구조체 기반의 귀금속-제로 저온형 연료전지 개발