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13족 금속 전구체, 이를 포함하는 박막증착용 조성물 및 이를 이용하는 박막의 제조방법(Group 13 metal precursor, composition for depositing thin film comprising the same, and a process for producing the thin film using the composition)

  • 기술번호 : KST2018006758
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 13족 금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막의 제조방법을 제공하는 것으로, 본 발명의 13족 금속 전구체는 상온에서 액체로 존재함으로써 취급이 용이하며, 휘발성 및 열안정성이 높아 이를 이용하여 쉽게 양질의 13족 금속 함유 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C07F 5/06 (2006.01.01) C07F 5/00 (2006.01.01) C23C 16/18 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C07F 5/066(2013.01) C07F 5/066(2013.01) C07F 5/066(2013.01) C07F 5/066(2013.01)
출원번호/일자 1020160154920 (2016.11.21)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-2029071-0000 (2019.09.30)
공개번호/일자 10-2018-0056949 (2018.05.30) 문서열기
공고번호/일자 (20191007) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.13)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 대전광역시 유성구
2 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
3 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
4 전동주 대한민국 대전광역시 유성구
5 한정환 대한민국 대전광역시 서구
6 김건환 대한민국 대전광역시 유성구
7 정은애 대한민국 대구광역시 북구
8 이가연 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-1133821-22
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.11.13 무효 (Invalidation) 1-1-2017-1123630-64
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1123710-18
6 보정요구서
Request for Amendment		 2017.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0166735-60
7 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2018.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0006843-19
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0031124-53
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0234093-18
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0550750-84
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0550765-68
13 등록결정서
Decision to grant		 2019.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0691322-10
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 13족 금속 전구체
2 2
제 1항에 있어서,상기 화학식 1에서 R11 및 R12는 수소이며; n은 1 내지 2인 13족 금속 전구체
3 3
제 1항에 있어서,상기 R1 내지 R7은 서로 독립적으로 메틸(methyl), 에틸(ethyl), 프로필(propyl), 이소프로필(iso-propyl), 부틸(butyl), 이소부틸(iso-butyl) 또는 tert-부틸(tert-butyl)인 13족 금속 전구체
4 4
제 1항 내지 제 3항에서 선택되는 어느 한항의 13족 금속 전구체를 포함하는 박막증착용 조성물
5 5
제 1항 내지 제3항에서 선택되는 어느 한항의 13족 금속 전구체를 이용하여 13족 금속 함유 박막을 형성하는 방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 박막은 성장 공정이 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의해 수행되는 것인 방법
7 7
제 1항에 따른 13족 금속 전구체를 이용하여 제조된 13족 금속 함유 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 정부출연 일반사업 (Sub) IT·ET 융복합 산업 유기금속화합물 및 소자화 공정 개발