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망간 아미노아미드 아미드 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법(MANGANESE AMINOAMIDE AMIDE PRECURSORS, PREPARATION METHOD THEREOF AND PROCESS FOR THE FORMATION OF THIN FILM USING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2018006760
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 개선된 신규한 망간 전구체에 관한 것으로, 상기 망간 전구체를 이용하여 낮은 온도에서 우수한 성장 속도로, 쉽게 양질의 망간 함유 박막을 제조하는 방법 및 이를 통해 제조된 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C07F 13/00 (2006.01.01) C23C 16/18 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C07F 13/005(2013.01) C07F 13/005(2013.01) C07F 13/005(2013.01)
출원번호/일자 1020160155182 (2016.11.21)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1973700-0000 (2019.04.23)
공개번호/일자 10-2018-0057053 (2018.05.30) 문서열기
공고번호/일자 (20190430) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.02)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 대전광역시 유성구
2 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
3 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
4 전동주 대한민국 대전광역시 유성구
5 한정환 대한민국 대전광역시 서구
6 김건환 대한민국 대전광역시 유성구
7 이선주 대한민국 충청남도 아산시 남부로 ***

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-1136442-46
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-1088442-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0809464-39
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.12.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1323125-99
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-1323149-84
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0281481-11
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
하기 화학식 3으로 표시되는 망간 아미노아미드 아미드 전구체
3 3
제 2항에 있어서,상기 R1 내지 R7는 각각 독립적으로 C1 내지 C7의 선형 또는 분지형 알킬기인 망간 아미노아미드 아미드 전구체
4 4
제 2항에 있어서,상기 R1 내지 R7는 각각 독립적으로 메틸(methyl), 에틸(ethyl), 프로필(propyl), 이소프로필(iso-propyl), 부틸(butyl), 이소부틸(iso-butyl) 또는 tert-부틸(tert-butyl)인 망간 아미노아미드 아미드 전구체
5 5
하기 화학식 4로 표시되는 망간 화합물을 화학식 5로 표시되는 금속 아미노아미드 및 화학식 6으로 표시되는 금속 아미드와 반응시켜 하기 화학식 1의 망간 아미노아미드 아미드 전구체를 제조하는 방법
6 6
제 2항 내지 제 4항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 망간 아미노아미드 아미드 전구체를 포함하는 망간 함유 박막증착용 조성물
7 7
제 2항 내지 제 4항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 망간 아미노아미드 아미드 전구체를 이용하여 망간 함유 박막을 성장시키는 방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 박막 성장 공정이 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의해 수행되는 것인 방법
9 9
제 2항 내지 제 4항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 망간 아미노아미드 아미드 전구체를 이용하여 제조된 망간 함유 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 정부출연 일반사업 (Sub) IT·ET 융복합 산업 유기금속화합물 및 소자화 공정 개발