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제1 방향으로 연장되고 진공 용기의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간 내에 증착 물질을 수납하고, 상기 제1 방향을 따라 배열되고 증기를 토출하는 복수의 내부 노즐을 포함하고, 상기 증착 물질을 유도 가열하여 상기 증기를 생성하는 도전성 내부 도가니;일면은 기판을 향하고, 상기 도전성 내부 도가니를 감싸도록 배치되고, 유도 가열되고, 상기 제1 방향을 따라 형성되고 상기 증기를 토출하는 복수의 외부 노즐을 포함하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 도전성 외부 도가니;상기 외부 노즐의 양측에서 상기 도전성 외부 도가니의 상부면에서 상기 제1 방향으로 연장되는 한 쌍의 냉각 블록; 상기 진공 용기의 내부에서 상기 도전성 외부 도가니를 감싸도록 배치되고 상기 도전성 내부 도가니 및 상기 도전성 외부 도가니를 가열하는 유도 가열 코일; 및상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원을 포함하고,상기 복수의 외부 노즐은 상기 기판 방향을 향하여 형성되고,상기 복수의 내부 노즐은 상기 기판 방향을 향하여 형성되고,상기 복수의 내부 노즐은 상기 도전성 내부 도가니의 증착 물질 수납 공간과 서로 연통되고 상기 제1 방향으로 이격되어 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출하고,상기 복수의 외부 노즐은 상기 내부 노즐과 연통되고, 상기 제1 방향으로 이격되어 배치되고, 상기 증기를 토출하고, 그리고상기 도전성 내부 도가니는 상기 도전성 외부 도가니와 서로 접촉하지 않도록 간격을 가지고 배치되고,상기 도전성 외부 도가니는 상기 도전성 내부 도가니보다 높은 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 내부 도가니는 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고,상기 외부 노즐은 상기 내부 노즐과 정렬되지 않은 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 외부 도가니의 상기 일면에 배치되고 한 쌍의 냉각 블록 사이에서 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 도전성 외부 도가니의 폭보다 작은 폭을 가지고, 상기 외부 노즐들에 각각 정렬된 보조 노즐들을 포함하는 보조 노즐 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 외부 도가니는:상기 도전성 내부 도가니의 높이와 동일한 수준의 높이를 가지고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 하부 몸체부; 및상기 외부 도가니 상부 몸체부와 분해결합하고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 상부 몸체부를 포함하고,상기 외부 도가니 하부 몸체부의 전기 전도도는 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 전기 전도도보다 작고,상기 외부 노즐은 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 상부면에서 상기 제1 방향으로 정렬되어 배치되고 ,상기 냉각 블록은 상기 외부 노즐을 사이에 두고 상기 제1 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제3 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은 4 턴 이상이고, 상기 유도 가열 코일의 최상부 턴은 상기 도전성 외부 도가니의 상기 일면보다 높은 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 외부 도가니는:상기 도전성 내부 도가니의 높이와 동일한 수준의 높이를 가지고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 하부 몸체부; 및상기 외부 도가니 상부 몸체부와 분해결합하고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 상부 몸체부를 포함하고,상기 외부 도가니 하부 몸체부의 두께는 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 두께보다 작고,상기 외부 도가니 하부 몸체부의 외측면은 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 외측면과 일치하고,상기 유도 가열 코일의 복수의 턴은 상기 기판 방향으로 차례로 정렬되도록 적층되고, 상기 유도 가열 코일과 상기 외부 도가니 하부 몸체부 사이의 간격은 상기 유도 가열 코일과 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 간격과 동일한 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 외부 도가니는:상기 도전성 내부 도가니의 높이와 동일한 수준의 높이를 가지고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 하부 몸체부; 및상기 외부 도가니 상부 몸체부와 분해결합하고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 상부 몸체부를 포함하고,상기 외부 도가니 하부 몸체부의 두께는 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 두께보다 작고,상기 외부 도가니 하부 몸체부의 내측면은 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 내측면과 일치하고,상기 유도 가열 코일의 복수의 턴은 상기 기판 방향으로 차례로 정렬되도록 적층되고, 상기 유도 가열 코일과 상기 외부 도가니 하부 몸체부 사이의 간격은 상기 유도 가열 코일과 상기 외부 도가니 상부 몸체부의 간격보다 큰 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 외부 도가니는:상기 도전성 내부 도가니의 높이와 동일한 수준의 높이를 가지고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 하부 몸체부; 및상기 외부 도가니 상부 몸체부와 분해결합하고 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 도가니 상부 몸체부를 포함하고,상기 외부 도가니 하부 몸체부에서 상기 제1 방향에 수직한 단면은 등변 사다리꼴 형상이고, 평행한 한 쌍의 변 중에서 길이가 긴 변은 상기 외부 도가니 상부 몸체부와 접촉하고,상기 도전성 내부 도가니는 상기 제1 방향에 수직한 단면은 등변 사다리꼴 형상이고,평행한 한 쌍의 변 중에서 길이가 긴 변은 상기 외부 도가니 상부 몸체부를 향하도록 배치된 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 내부 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되는 내부 도가니 하부 몸체부; 및상기 내부 도가니 하부 몸체부와 분해결합도록 덮고 있고 상기 제1 방향으로 연장되는 내부 도가니 상부 몸체부를 포함하고,상기 내부 도가니 상부 몸체부의 전기 전도도는 상기 내부 도가니 하부 몸체부의 전기 전도도보다 크고,상기 도전성 내부 도가니의 측면 및 하부면에서 상기 도전성 외부 도가니와 상기 도전성 내부 도가니 사이의 간격은 상기 도전성 내부 도가니의 상부면에서 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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