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라인빔을 사용하는 결함검출모듈 및 상기 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치(defect sensing module based on line-beam and defect sensing device using its arrays for detection of the defects on surface)

  • 기술번호 : KST2018006821
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 라인빔(sheet beam)을 기반으로 함으로써 측정 정밀도는 유지하면서도 측정 속도를 획기적으로 증가시킬 수 있는, 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 및 상기 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치를 제공함에 있다.
Int. CL G01N 21/88 (2006.01.01) G01N 35/00 (2006.01.01) G01N 21/894 (2006.01.01)
CPC G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01)
출원번호/일자 1020160157325 (2016.11.24)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0058399 (2018.06.01) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정세채 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1151021-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0178664-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0869494-59
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2018-0145957-04
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.03.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0244020-94
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0244047-15
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0473206-30
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
라인빔을 생성하는 라인빔조사부; 상기 라인빔조사부에서 조사되는 라인빔의 일부를 통과시키고 나머지 일부는 반사시키는 빔스플리터; 상기 빔스플리터에서 반사되어 온 라인빔을 측정하는 기준광측정부; 상기 빔스플리터에서 통과되어 온 라인빔을 검출대상의 표면에 집속하는 집속렌즈; 상기 검출대상의 표면 및 상기 빔스플리터에서 순차적으로 반사되어 온 라인빔을 측정하는 검출광측정부; 상기 기준광측정부에서 측정된 광신호 및 상기 검출광측정부에서 측정된 광신호를 사용하여, 라인빔 폭 범위 내 상기 검출대상의 표면상의 결함 유무를 판단하는 모듈판단부; 를 포함하여 이루어지는 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 복수 개를 포함하여 이루어지는 결함검출장치로서,복수 개의 상기 결함검출모듈이 일렬로 배열되어 형성되며, 복수 개의 상기 결함검출모듈들의 어레이 각각에서 조사되는 복수 개의 라인빔들이 합쳐져 이루어지는 어레이-라인빔을 조사하는 결함검출모듈 어레이; 상기 결함검출모듈들의 어레이를 상기 검출대상에 대하여 X축 및 Y축 방향으로 상대이동시켜 2차원 스캔을 수행하는 2차원스캔부; 각각의 상기 결함검출모듈에 대하여, 상기 검출광측정부에서 측정된 광신호를 상기 기준광측정부에서 측정된 광신호로 나누어 노멀라이징하는 복수 개의 신호표준화부; 복수 개의 상기 신호표준화부에서 출력된 노멀라이징된 광신호를 사용하여, 어레이-라인빔 폭 범위 내 상기 검출대상의 표면상의 결함 유무를 판단하는 판단부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 모듈판단부는,상기 검출광측정부에서 측정된 광신호를 사용하여, 상기 검출대상의 표면상에 결함이 존재할 경우 발생되는 산란광이 검출되면, 상기 검출대상의 표면상에 결함이 존재하는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 라인빔조사부는,레이저 다이오드로 이루어지는 광원,상기 광원에서 방출된 광을 라인빔화시키는 실린더렌즈,상기 실린더렌즈에서 통과되어 온 라인빔의 일부만을 통과시키는 광원측핀홀을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 기준광측정부는,상기 빔스플리터에서 반사되어 온 라인빔을 측정하는 기준광측정소자를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 검출광측정부는,상기 검출대상의 표면 및 상기 빔스플리터에서 순차적으로 반사되어 온 라인빔을 입사받는 접안렌즈,상기 접안렌즈에서 통과되어 온 라인빔을 통과시키는 검출측핀홀,상기 검출측핀홀에서 통과되어 온 검출광을 측정하는 검출광측정소자를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치
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삭제
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제 1항에 있어서,각각의 상기 결함검출모듈은 블록 형태로 형성되되 외측에 체결부가 형성되고,상기 결함검출장치는,상기 체결부와 결합 가능하게 형성되는 고정부가 복수 개 일렬로 배열되어 형성되는 어레이지지부;를 더 포함하여 이루어져,상기 체결부 및 상기 고정부 결합에 의하여 상기 결함검출모듈이 상기 어레이지지부에 결합되어 상기 결함검출모듈 어레이가 형성되는 것을 특징으로 하는 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 기관고유사업 4-4의료융합측정표준확립