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피측정물의 높이에 따라 경사가 조절되며, 상기 피측정물로 레이저를 발사하여 상기 피측정물의 진동을 측정하는 진동 측정부;질량체; 및일 단이 상기 진동 측정부에 연결되고 타 단이 상기 질량체에 연결되어 상기 진동 측정부의 경사에 의해 변형이 발생하는 변형부;를 포함하되,상기 진동 측정부는,상기 진동 측정부의 경사에 의한 진동 측정 오차를 제거하기 위해, 상기 변형부의 변형 정도에 근거하여 상기 피측정물에 대한 진동 측정값을 보정하는 것을 특징으로 하는 진동 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 변형부는 압전소자를 포함하고,상기 진동 측정부는, 상기 압전소자의 변형에 따라 상기 압전소자에서 발생하는 전압에 근거하여 상기 피측정물에 대한 진동 측정값을 보정하는 것을 특징으로 하는 진동 측정 장치
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진동 측정부가 피측정물로 레이저를 발사하여 상기 피측정물의 진동을 측정하는 단계로서, 상기 진동 측정부는 피측정물의 높이에 따라 경사가 조절되는, 단계;상기 진동 측정부가 변형부의 변형 정도를 감지하는 단계로서, 상기 변형부는 일 단이 상기 진동 측정부에 연결되고 타 단이 질량체에 연결되어 상기 진동 측정부의 경사에 의해 변형이 발생하는, 단계; 및상기 진동 측정부가, 상기 진동 측정부의 경사에 의한 진동 측정 오차를 제거기 위해, 상기 변형부의 변형 정도에 근거하여 상기 피측정물에 대한 진동 측정값을 보정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 측정 방법
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제3항에 있어서,상기 변형부는 압전소자를 포함하고,상기 변형부의 변형 정도를 감지하는 단계에서, 상기 진동 측정부는,상기 압전소자의 변형에 따라 상기 압전소자에서 발생하는 전압을 감지하여 상기 변형 정도를 감지하고,상기 진동 측정 오차를 제거하는 단계에서, 상기 진동 측정부는,상기 감지된 전압에 근거하여 상기 피측정물에 대한 진동 측정값을 보정하는 것을 특징으로 하는 진동 측정 방법
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