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열안정성과 연마효율이 우수한 화학-기계적 연마 슬러리(A chemical-mechanical polishing slurry having great thermo-stability and polishing efficiency)

  • 기술번호 : KST2018006931
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 슬러리는 기존의 화학-기계적 연마(chemical-mechanical polishing, CMP) 슬러리에 비해 연마제의 입경 크기를 일정하게 유지시켜 웨이퍼의 스크래치 발생을 억제할 수 있으며, PE-TEOS(Plasma Enhanced-Tetra Ethylene Ortho Silicate), 폴리실리콘막, 실리콘질화막 등 다양한 종류의 웨이퍼에서 우수한 연마 효율을 달성할 수 있다.또한 연마제의 분산안정성이 우수하고 높은 열안정성을 가져 반도체 웨이퍼 공정용 연마제 및 각종 관련 분야에 폭넓게 사용할 수 있다.
Int. CL C09G 1/02 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020160154483 (2016.11.18)
출원인 한남대학교 산학협력단, (주) 엠에스머트리얼즈
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0056327 (2018.05.28) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.18)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한남대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
2 (주) 엠에스머트리얼즈 대한민국 충청남도 공주시 우성면 군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김운중 대한민국 대전광역시 서구
2 배성호 대한민국 충청남도 공주시 우성면 군
3 안세영 대한민국 충청남도 공주시 우성면 군
4 김민기 대한민국 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박노춘 대한민국 대전광역시 서구 둔산북로 *** (둔산동, 아너스빌) ****호(PNC국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한남대학교 산학협력단 대전광역시 유성구
2 (주)엠에스머트리얼즈 충청남도 공주시 우성면 군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-1130267-12
2 보정요구서
Request for Amendment
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0171337-85
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-1281943-76
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0004553-10
5 보정요구서
Request for Amendment
2017.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0000507-19
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2017-5046930-79
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0015147-97
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0041667-09
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-0268432-42
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.03.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0268431-07
12 등록결정서
Decision to grant
2018.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0436183-66
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 산화알루미늄, 산화규소, 산화지르코늄 및 산화세륨에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 연마제;b) 상기 연마제의 표면에 결합하여 연마제의 분산성을 향상시키는 연마보조제; 및 c) 액체 캐리어;를 포함하고,상기 연마보조제는 개질 말레인산 공중합체이고, 상기 연마보조제는 하기 화학식 1의 구조를 가지는 것인 열안정성과 연마효율이 우수한 화학-기계적 연마 슬러리
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 연마제는 산화세륨인 열안정성과 연마효율이 우수한 화학-기계적 연마 슬러리
4 4
제 1항에 있어서,상기 연마 슬러리는 트리메탄올아민(Trimethanolamine), 트리에탄올아민(Triethanolamine), 트리메틸암모늄하이드록사이드(Trimethylammonium hydroxide), 트리에틸암모늄하이드록사이드(Triethylammonium hydroxide), 디메틸벤질아민(Dimethylbenzylamine), 에톡시벤질아민(Ethoxybenzyl amine), 수산화나트륨(sodium hydroxide),및 수산화칼륨(Potassium hydroxide)에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 pH 조절제를 더 포함하는 것인 열안정성과 연마효율이 우수한 화학-기계적 연마 슬러리
5 5
제 1항에 있어서,상기 액체 캐리어는 초순수인 열안정성과 연마효율이 우수한 화학-기계적 연마 슬러리
6 6
제 1항에 있어서,상기 연마 슬러리는 연마제 1 내지 30 중량%, 연마보조제 1 내지 30 중량% 및 잔량의 액체 캐리어를 포함하는 것인 열안정성과 연마효율이 우수한 화학-기계적 연마 슬러리
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한남대학교 2016년 산학연협력 기술개발사업 연구마을 고열안정성 고분자 수지를 이용한 스크래치가 없는 친환경 CMP 슬러리의 개발 및 상용화