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수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀 및 그를 포함하는 정적램 코어 셀 어셈블리(3D SRAM CORE CELL HAVING VERTICAL STACKING STRUCTURE AND CORE CELL ASSEMBLY COMPRING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2018006963
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 각각 갖는 6개의 박막 트랜지스터로 구성되는 정적램 코어 셀이고, 정적램 코어 셀은 비트 라인과 워드 라인에 각각 연결되어 데이터의 기록 및 독출을 선택하는 2개의 스위칭용 박막 트랜지스터; 및 전원전압(Vdd) 또는 접지전압(Vss)에 연결되어 데이터가 기록 및 독출되는 4개의 데이터 저장용 박막 트랜지스터를 포함하고, 정적램 코어셀은 6개의 박막 트랜지스터 중에서 선택된 2개의 박막 트랜지스터를 포함하는 제1 트랜지스터층; 제1 트랜지스터층 상에 위치하고, 나머지 4개의 박막 트랜지스터 중에서 선택된 2개의 박막 트랜지스터를 포함하는 제2 트랜지스터층; 및 제2 트랜지스터층 상에 위치하고, 나머지 2개의 박막 트랜지스터를 포함하는 제3 트랜지스터층;을 포함하고, 제1 트랜지스터층의 1종 이상의 전극과 제2 트랜지스터층의 1종 이상의 전극이 전기적 연결되고, 제2 트랜지스터층의 1종 이상의 전극과 제3 트랜지스터층의 1종 이상의 전극이 전기적 연결된 것인 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀이 제공된다. 이에 의하여, 본 발명의 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀은 동일한 평면상에 동일한 타입의 유기 트랜지스터를 배치하여 수직으로 적층시킴으로써 메모리 소자 제조시 상이한 타입의 유기 트랜지스터를 형성하기 위한 복잡한 패터닝 공정을 생략할 수 있고, 메모리 소자가 차지하는 면적을 줄여 반도체 회로의 집적도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 27/11 (2006.01.01) H01L 51/05 (2006.01.01) H01L 27/28 (2006.01.01) H01L 27/06 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180047428 (2018.04.24)
출원인 포항공과대학교 산학협력단, 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0058673 (2018.06.01) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2015-0188828 (2015.12.29)
관련 출원번호 1020150188828
심사청구여부/일자 Y (2018.04.24)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권지민 경기도 파주
2 정성준 경상북도 포항시 남구
3 김재준 경상북도 포항시 남구
4 조길원 경상북도 포항시 남구
5 경수정 전라북도 군산

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-0407546-10
2 보정요구서
Request for Amendment
2018.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0070769-73
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0505006-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0379916-55
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.08.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0775670-50
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-0775632-25
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0868548-93
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 각각 갖는 6개의 박막 트랜지스터로 구성되는 정적램 코어 셀이고,상기 정적램 코어 셀은 비트 라인과 워드 라인에 각각 연결되어 데이터의 기록 및 독출을 선택하는 2개의 스위칭용 박막 트랜지스터; 및 전원전압(Vdd) 또는 접지전압(Vss)에 연결되어 데이터가 기록 및 독출되는 4개의 데이터 저장용 박막 트랜지스터를 포함하고,상기 정적램 코어셀은 상기 6개의 박막 트랜지스터 중에서 선택된 2개의 박막 트랜지스터를 포함하는 제1 트랜지스터층; 상기 제1 트랜지스터층 상에 위치하고, 나머지 4개의 박막 트랜지스터 중에서 선택된 2개의 박막 트랜지스터를 포함하는 제2 트랜지스터층; 및 상기 제2 트랜지스터층 상에 위치하고, 나머지 2개의 박막 트랜지스터를 포함하는 제3 트랜지스터층;을 포함하고,상기 6개의 박막 트랜지스터 중 2개가 n-타입 및 p-타입 중 1종이고, 상기 6개의 박막 트랜지스터 중 나머지 4개가 n-타입 및 p-타입 중 나머지 1종이고,상기 6개의 박막 트랜지스터 중 동종 타입의 2개가 상기 제1 내지 제3 트랜지스터층 중 1개의 트랜지스터층(a)에 포함되고,상기 6개의 박막 트랜지스터 중 나머지 동종 타입의 4개가 상기 제1 내지 제3 트랜지스터층 중 나머지 2개의 트랜지스터층(b)에 각각 2개씩 포함되고,상기 2개의 트랜지스터층(b) 중 1개에 포함된 트랜지스터와 상기 트랜지스터층(a)에 포함된 트랜지스터가 상기 게이트 전극을 공유하고,상기 제1 트랜지스터층의 드레인 전극과 상기 제2 트랜지스터층의 드레인 전극이 전도성 비아홀에 의해 전기적 연결되고, 상기 제2 트랜지스터층의 드레인 전극과 상기 제3 트랜지스터층의 드레인 전극이 전도성 비아홀에 의해 전기적 연결된 것인 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 트랜지스터 층이 제1 소스 전극, 제1 드레인 전극 및 제1 유기 반도체를 포함하는 제1 전극채널막; 상기 제1 전극채널막 상에 형성된 제1 절연막; 및 상기 제1 절연막 상에 형성된 제1 게이트 전극;을 포함하고,상기 제2 트랜지스터층이 제2 소스 전극, 제2 드레인 전극 및 제2 유기 반도체를 포함하는 제2 전극채널막; 상기 제2 전극채널막 상에 형성된 제2 절연막; 및 상기 제2 절연막 상에 형성된 제2 게이트 전극;을 포함하고,상기 제3 트랜지스터 층이 제3 소스 전극, 제3 드레인 전극 및 제3 유기 반도체를 포함하는 제3 전극채널막; 상기 제3 전극채널막 상에 형성된 제3 절연막; 및 상기 제3 절연막 상에 형성된 제3 게이트 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
3 3
제2항에 있어서,상기 제1 트랜지스터 층이 기판 상에 위치한 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
4 4
제2항에 있어서,상기 제1 게이트 전극 상에 제1 층간 절연막이 추가로 위치하고, 상기 제2 게이트 전극 상에 제2 층간 절연막이 추가로 위치한 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
5 5
제4항에 있어서,상기 제2 층간 절연막이 제3 절연막인 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
6 6
제1항에 있어서,상기 게이트 전극 및 소스 전극 중 1종 이상이 각각 독립적으로 Au, Al, Ag, Be, Bi, Co, Cu, Cr, Hf, In, Mn, Mo, Mg, Ni, Nb, Pb, Pd, Pt, Rh, Re, Ru, Sb, Ta, Te, Ti, V, W, Zr, Zn 및 PEDOT:PSS 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
7 7
제1항에 있어서,상기 박막 트랜지스터는 유기 전계 효과 박막 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
8 8
제1항에 있어서,상기 박막 트랜지스터는 플렉서블한 성질을 갖는 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
9 9
제2항에 있어서,상기 제1 유기 반도체, 제2 유기 반도체, 및 제3 유기 반도체 중 어느 하나의유기 반도체가 n-타입 유기 반도체 및 p-타입 유기 반도체 중 어느 하나이고, 나머지 유기 반도체가 n-타입 유기 반도체 및 p-타입 유기 반도체 중 나머지 하나이고,상기 n-타입 유기 반도체가, N2200 (poly{[N,N'-bis(2-octyldodecyl)-naphthalene-1,4,5,8-bis(dicarboximide)-2,6-diyl]-alt-5,5'-(2,2'-bithiophene)}),안트라센(anthracene), 테트라센(tetracene), 헥사센(hexacene), 퀴놀린(quinolone), 나프틸리딘(naphthylridine), 및 퀴나졸린(quinazoline), 안트라디싸이오펜(antradithophene), 플루오렌(fullerene), 페릴렌디카르복시마이드(perylenedicarboximide), 나프탈렌 디이미드(naphtalene diimide), 올리고싸이오펜(oligo-thiophene), 6,13-비스(트리이소프로필실릴에티닐)펜타센)(6,13-Bis(triisopropylsilylethynyl)pentacene), 5,11-비스(트리에틸실릴에티닐)안트라디싸이오펜(5,11-Bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene), 2,8-디플로로-5,11-비스(트리에틸실릴에티닐(2,8-Difluoro-5,11-bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene), PCBM, Cu-프탈로시아닌(Cu-Phthalocyanine), 및 Zn-프탈로시아닌(Zn-Phthalocyanine) 중에서 선택된 1종 이상이고,상기 p-타입 유기 반도체가, diF-TES-ADT(2,8-Difluoro-5,11-bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene), 펜타센(pentacene), 3-헥실싸이오펜 중합체(poly(3-hexylthiophene)), 3-펜틸싸이오펜 중합체(poly(3-pentylthiophene)), 3-부틸싸이오펜 중합체(poly3-(butylthiophene)), 벤조다이싸이오펜(benzo[1,2-b:4,5-b']dithiophene) 중합체, PBDT2FBT-2EHO(poly(4,8-bis(2-ethylhexyloxy)benzo[1,2-b:4,5-b′]di thiophene-alt-4,7-bis(4-(2-ethylhexyl)-2-thienyl)-5,6-difluoro-2,1,3-benzothiadiazole), 및 PDPP3T(poly(diketopyrrolopyrrole-terthiophene)) 중에서 선택된 1종 이상인 것을 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
10 10
제2항에 있어서,상기 제1 절연막, 제2 절연막, 및 제3 절연막 중에서 선택된 1종 이상이 각각 독립적으로, 페릴렌(perylene), 폴리디메틸실록세인(polydimethylsiloxane, PDMS), Cytop(CTL-809M, Asahi Glass), PMMA(poly(methyl methacrylate)), PVP (poly(vinyl pyrrolidone)), PI(polyimide) 및 산화알루미늄(Al2O3) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
11 11
제3항에 있어서,상기 기판이 금속 산화물, 반도체, 유리 및 플라스틱 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
12 12
제4항에 있어서,상기 제1 층간 절연막, 및 제2 층간 절연막 중에서 선택된 1종 이상이 각각 독립적으로 페릴렌(parylene), 폴리디메틸실록세인(polydimethylsiloxane, PDMS), Cytop(CTL-809M, Asahi Glass), PMMA(poly(methyl methacrylate)), PVP (poly(vinyl pyrrolidone)), PI(polyimide) 및 산화알루미늄(Al2O3) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀
13 13
제1항의 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀을 복수로 평면상에 포함하는 정적램 코어 셀 어셈블리
14 14
제1항의 수직적층구조의 3차원 정적램 코어 셀을 포함하는 전자기기
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1 CN108431954 CN 중국 FAMILY
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1 CN108431954 CN 중국 DOCDBFAMILY
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1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 정보통신기술인력양성 미래IT융합연구원
2 미래창조과학부 포항공과대학교 글로벌프론티어사업 잉크젯 프링팅 기반 집적소자