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관로를 따라 제1제어부, 제1측정부, 제2측정부, 제2제어부를 순차적으로 이동하는 기체의 유량을 측정하기 위한 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치에 있어서,기체의 압력을 일정하게 유지하는 레귤레이터(regulator)를 포함하는 제1제어부;상기 제1제어부의 분기된 관로에 연결되고, 유입되는 기체의 유량을 측정하는 표준기를 포함하는 제1측정부;상기 제1측정부의 분기된 관로에 연결되는 피교정기기를 포함하는 제2측정부; 상기 제2측정부의 분기된 관로에 연결되고, 상기 관로를 따라 이동하는 기체의 단위 시간당 이동하는 양을 조절하는 질량유량제어기를 포함하는 제2제어부; 및상기 질량유량제어기에서 전달되는 기체의 유량 정보를 비교 분석하여 교정값을 산출하는 컴퓨터;를 포함하고, 상기 표준기의 유량 측정값을 기준으로 하여, 상기 피교정기기의 유량 측정값이 교정되는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 표준기는 층류소자(Laminar flow element)로 구성되는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 제1제어부는상기 레귤레이터를 통과한 관로의 압력을 측정하는 제1압력계, 관로의 온도를 측정하는 제1온도계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 제1측정부는 상기 표준기의 출구 측에 결합된 관로에 위치한 제1개폐조작 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 제2측정부는 상기 피교정기기의 출구 측에 결합된 관로에 위치한 제2개폐조작 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 제2제어부는 상기 질량유량제어기의 입구 측에 결합된 관로에 위치한 제3개폐조작 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 제2제어부는 상기 관로의 압력을 측정하는 제2압력계, 관로의 온도를 측정하는 제2온도계를 포함하고, 상기 제2압력계와 제2온도계는 상기 제3개폐조작 밸브의 입구 측에 결합된 관로에 위치하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 제1측정부는상기 표준기의 입구 측에 결합된 관로에 위치하고, 상기 제1개폐조작 밸브로부터 기체가 누출되는 것을 방지하는 제1ON밸브/OFF밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 제2측정부는상기 피교정기기의 입구 측에 결합된 관로에 위치하고, 상기 제2개폐조작 밸브로부터 기체가 누출되는 것을 방지하는 제2ON밸브/OFF밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 기체의 유량 범위는 20~20000sccm인 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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제1항에 있어서,상기 기체의 유량을 산출하는 식은 하기 식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량 자동측정장치
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