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투명 재질로 된 피가공체의 내부에서 일정패턴을 갖는 가상의 메타 구조체 영역을 따라 레이저빔를 이동시켜 상기 가상의 메타 구조체 영역의 물성을 변화시키는 물성 변화단계;상기 가상의 메타 구조체 영역에 에칭액을 주입하여 상기 가상의 메타 구조체 영역에 해당하는 피가공체의 일부분을 선택적으로 제거하는 에칭단계; 및상기 피가공체의 일부분이 선택적으로 제거되어 형성된 미소채널의 내벽면에 금속박막층을 코팅하는 코팅단계;를 포함하고,상기 물성변화단계, 상기 에칭단계 및 상기 코팅단계에 의해 상기 가상의 메타 구조체 영역은 상기 피가공체의 내부에서 메타 구조체로 변환되며, 상기 메타 구조체가 외부에 노출되지 않는 것을 특징으로 하되,상기 피가공체는 금속이온을 함유한 재질이고,상기 물성 변화단계에서, 상기 가상의 메타 구조체 영역에 존재하는 다수의 금속이온이 상기 레이저빔에 의해 금속원자로 환원되며,상기 에칭단계에서, 상기 금속원자 중 상기 미소채널의 내벽면에 존재하는 금속원자를 제외한 나머지 금속원자는 제거되고,상기 코팅단계에서, 상기 미소채널의 내벽면에 잔류하는 금속원자에 의해 상기 금속박막층과 상기 미소채널의 내벽면 사이의 상호 접착력이 높아지는 것을 특징으로 하는 내장형 메타 구조체 제조방법
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제1항에 있어서,상기 피가공체는 비정질의 재질이고,상기 물성 변화단계에서, 상기 레이저빔에 의해 상기 가상의 메타 구조체 영역의 물성이 변화되며,상기 에칭단계에서, 상기 에칭액에 의해 물성이 변화된 피가공체의 일부분만 선택적으로 제거되는 것을 특징으로 하는 내장형 메타 구조체 제조방법
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제1항에 있어서,상기 가상의 메타 구조체 영역의 일측이 외부와 연결되어 상기 에칭액이 공급되는 입구영역과, 상기 가상의 메타 구조체 영역의 타측이 외부와 연결되어 상기 에칭액이 배출되는 출구영역의 물성을 변화시키는 입출구 물성 변화단계;를 더 포함하고,상기 에칭단계에서, 상기 입구영역에 주입된 에칭액이 상기 가상의 메타 구조체 영역을 경유하여 상기 출구영역으로 배출되면서, 상기 가상의 메타 구조체 영역에 해당하는 피가공체의 일부분이 선택적으로 제거되는 것을 특징으로 하는 내장형 메타 구조체 제조방법
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제1항에 있어서,상기 물성 변화단계는, 레이저 펄스 폭이 펨토초 범위를 갖는 펨토초 레이저빔으로 수행되는 것을 특징으로 하는 내장형 메타 구조체 제조방법
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