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기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 배치되어 상기 기판을 지지하는 동시에, 내부에 상기 기판과 수직하게 배치되는 복수의 흡입유로가 형성되는 스테이지; 및상기 흡입유로와 연결되어 공기를 흡입함으로써 상기 기판을 상기 스테이지 측으로 흡착하는 흡입구동부;를 포함하는 기판 장력 유지 장치
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제 1항에 있어서,상기 롤과 평행하도록 상기 스테이지의 양 측에 배치되며, 상기 롤과 동일한 방향으로 회전하는 한 쌍의 구동롤러;한 쌍의 상기 구동롤러를 외측에서 동시에 감싸도록 구비되어 상기 구동롤러의 회전에 의해 함께 회전하여 상기 기판을 일측으로 이송하는 궤도형 벨트;를 더 포함하는 기판 장력 유지 장치
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제 2항에 있어서,상기 궤도형 벨트에는 복수의 관통홀이 형성되며,복수의 상기 관통홀은 상기 궤도형 벨트의 회전에 따라 상기 흡입유로와 순차적으로 연통되는 기판 장력 유지 장치
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제 3항에 있어서
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기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 상기 롤과 평행하게 배치되어 상기 롤과 동일한 방향으로 회전하여 상기 기판을 일측으로 이송하며, 내부에는 상기 기판 측으로부터 공기를 흡입하기 위한 복수의 유로가 형성되는 하나 이상의 구동롤러; 및상기 유로와 연결되어 상기 유로를 통하여 공기를 흡입하는 흡입구동부;를 포함하는 기판 장력 유지 장치
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제 5항에 있어서,상기 구동롤러는,상기 롤과 동일한 방향으로 회전하며, 반지름 방향 일정 각도 이격되는 동시에 길이 방향을 따라 일정 간격 이격되는 복수의 관통홀이 형성되는 회전부; 및상기 회전부의 중심에 위치하여 회전이 구속된 상태이며, 내부에는 길이 방향으로 형성되어 상기 흡입구동부와 연결되는 메인유로 및 서로 일정 간격 이격되도록 상기 메인유로로부터 분지되어 상기 기판을 향하는 방향으로 연장되는 복수의 흡입유로가 형성되는 고정부;를 포함하여, 상기 고정부를 중심으로 상기 회전부가 회전함에 따라 복수의 상기 관통홀이 상기 흡입유로와 순차적으로 연통되어 상기 기판에 흡입력을 제공하는 기판 장력 유지 장치
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제 1항 또는 제 5항에 있어서,상기 스테이지 또는 상기 구동롤러는,상기 기판의 온도를 상승시킬 수 있도록 히팅 기능을 가지는 기판 장력 유지 장치
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