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반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정장치 및 이를 이용한 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정방법

  • 기술번호 : KST2018007142
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정장치는, 시편과, 상기 시편의 소수 캐리어를 측정하는 측정회로를 포함하는 회로부, 상기 시편에 형성되는 전계 및 상기 회로부에 인가되는 전원을 제어하고, 상기 측정회로로부터 발생하는 미세전압을 검출하여 데이터를 획득하는 검출모듈과, 상기 검출모듈을 통해 획득한 데이터를 송신하는 통신모듈을 포함하는 측정부 및 상기 통신모듈과의 통신을 통해 상기 측정부로부터 수신된 데이터를 가공 및 저장하는 연산모듈과, 상기 연산모듈을 통해 가공된 데이터를 출력하는 출력모듈을 포함하는 프로세서부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01) G01R 31/28 (2006.01.01)
CPC H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01)
출원번호/일자 1020160158527 (2016.11.25)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0059222 (2018.06.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 충남 천안시 서북구
2 이준연 대한민국 대전광역시 동구
3 장미연 대한민국 인천광역시 서구
4 유해민 대한민국 광주 북구
5 차재영 대한민국 충청남도 계룡시 서금암 *길 *
6 심준현 대한민국 전라남도 순천시 지봉로 *
7 송주형 대한민국 충청남도 계룡시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이성원 대한민국 서울특별시 서초구 동광로**길 ***, *층(방배동, 스튜디오빌) ***호(아이피비랩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-1157484-90
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0014848-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0269220-95
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.06.19 무효 (Invalidation) 1-1-2018-0597662-64
6 보정요구서
Request for Amendment
2018.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0098340-45
7 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2018.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0118532-74
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0516766-28
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시편과, 상기 시편의 소수 캐리어를 측정하는 측정회로를 포함하는 회로부;상기 시편에 형성되는 전계 및 상기 회로부에 인가되는 전원을 제어하고, 상기 측정회로로부터 발생하는 미세전압을 검출하여 데이터를 획득하는 검출모듈과, 상기 검출모듈을 통해 획득한 데이터를 송신하는 통신모듈을 포함하는 측정부; 및상기 통신모듈과의 통신을 통해 상기 측정부로부터 수신된 데이터를 가공 및 저장하는 연산모듈과, 상기 연산모듈을 통해 가공된 데이터를 출력하는 출력모듈을 포함하는 프로세서부;를 포함하는 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정장치
2 2
제1항의 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정장치를 이용한 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정방법에 있어서,상기 검출모듈이 상기 시편에 형성되는 전계 및 상기 회로부에 인가되는 전원을 제어하는 (a)단계;상기 검출모듈이 상기 측정회로로부터 발생되는 미세 전압을 검출하여 데이터를 획득하는 (b)단계;상기 통신모듈이 상기 검출모듈을 통해 획득한 데이터를 상기 연산모듈로 송신하는 (c)단계; 및상기 연산모듈이 상기 측정부로부터 수신된 데이터를 가공 및 저장하는 (d)단계;를 포함하는 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정방법
3 3
제2항에 있어서,상기 (d)단계 이후에는,상기 출력모듈이 상기 연산모듈을 통해 가공된 데이터를 출력하는 (e)단계가 더 포함되는 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정방법
4 4
제2항에 있어서,상기 (a)단계 이전에는,상기 프로세서부가, 상기 검출모듈에 상기 시편에 형성될 전계값 및 상기 회로부에 인가될 전원값을 전송하는 (f)단계가 더 포함되는 반도체 재료의 소수 캐리어 특성 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.