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저 결맞음 광선(SLD)을 생성하기 위한 광원; 상기 광원을 보호하기 위한 광격리자;소형카메라 통합모듈 샘플을 스캐닝하여 샘플신호를 수득하는 샘플단;기준신호를 생성하는 기준단;상기 광격리자를 통과한 상기 저 결맞음 광선을 상기 샘플단 및 상기 기준단으로 각각 분배하고 상기 샘플단 및 상기 기준단으로부터 각각 수득된 샘플신호 및 기준신호를 이용하여 간섭신호를 생성하는 제1광섬유분배기;상기 간섭신호를 분광기로 전달해 주기 위한 제1편광조절기;상기 간섭신호를 영상신호로 전환해 주기 위한 분광기; 및상기 영상신호를 영상으로 구현하기 위한 컴퓨터를 포함하며, 상기 샘플단은 상기 제1광섬유분배기로부터 입사되는 빛의 광파워를 조절하기 위한 제3편광조절기; 상기 제3편광조절기를 통과한 샘플 스캐닝용 광선을 평행광으로 형성하기 위한 제2콜리메이터; 상기 평행광을 스캐닝하는 스캐닝미러; 상기 스캐닝미러를 통과한 샘플 스캐닝용 광선을 소형카메라 통합모듈로 포커싱하기 위한 제2렌즈 및 제3렌즈 및 제3편광조절기를 구비하여, 상기 소형카메라 통합모듈 내의 센서에 포커싱된 샘플신호를 수득하고, 이 때, 상기 제1광섬유분배기로부터 입사된 소형카메라 통합모듈 샘플 스캐닝용 광선이 상기 제2콜리메이터에 의해 평행광으로 전환되고 상기 스캐닝미러에 의해 반사된 후 상기 제2렌즈 및 상기 제3렌즈를 통과하여 깊이 방향축 어느 한 곳에서 모이는 지점에 상기 소형카메라 통합모듈 샘플의 입구 윈도우가 위치하도록 상기 소형카메라 통합모듈 샘플의 높이를 맞추도록 구성된 것을 특징으로 하며,상기 기준단은 편광조절기를 구비하여 상기 제1광섬유분배기로부터 입사된 기준신호 획득용 광선이 제1콜리메이터에 의해 평행광으로 전환된 후, 광감쇄기 ND 필터를 통과한 후에 제1렌즈에 의해 골드 미러에 포커싱된 기준신호를 생성하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 소형카메라 통합모듈은 샘플 스캐닝용 광선을 센서부에 포커싱하는 렌즈부; 및상기 포커싱된 샘플 스캐닝용 광선을 이미징하는 센서부를 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제4항에 있어서,상기 소형카메라 통합모듈은 상기 렌즈부와 센서부 사이에 IR 필터를 추가로 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 기준단은,상기 제1광섬유분배기로부터 입사되는 빛의 광파워를 조절하기 위한 제2편광조절기;상기 제2편광조절기를 통과한 샘플의 영상정보 획득용 광선을 평행광으로 형성하기 위한 제1콜리메이터;상기 평행광의 지나친 광세기에 의한 영상 왜곡을 최소화하기 위한 광감쇄기 ND 필터;상기 광감쇄기 ND 필터를 통과한 샘플의 기준신호 획득용 광선을 골드 미러에 포커싱시키기 위한 제1렌즈; 및상기 제1렌즈에 의해 포커싱된 광선으로부터 기준신호를 생성하는 골드 미러를 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 제1광섬유분배기의 샘플단:기준단 분배 비율은 50:50, 80:20 또는 90:10인, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 분광기는 상기 제1편광조절기를 통과한 간섭신호를 평행광으로 형성하기 위한 제3콜리메이터;상기 평행광을 분광하기 위한 투과회절격자 또는 반사회절격자;상기 평행광을 포커싱하기 위한 제4렌즈; 및상기 포커싱된 광신호를 영상신호로 변환하기 위한 카메라를 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제8항에 있어서,상기 카메라는 투과회절격자 또는 반사회절격자로부터 분광된 샘플의 영상정보 획득용 간섭신호 및 샘플 스캐닝용 간섭신호를 영상신호로 변환하는 선주사 카메라 또는 듀얼 선주사 카메라인, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제9항에 있어서, 상기 간섭신호는 상기 선주사 카메라 또는 듀얼 선주사 카메라의 프레임 그래버(frame grabber)에 의해 변환되는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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고속파장가변광선을 생성하기 위한 광원;상기 광원을 보호하기 위한 제1광순환기;상기 제1광순환기를 통과한 상기 고속파장가변광선을 소형카메라 통합모듈 샘플을 스캐닝하는 샘플단 및 상기 샘플의 영상정보 획득을 위한 기준단으로 각각 분배하고 상기 샘플단 및 기준단으로부터 수득된 샘플신호 및 기준신호를 이용하여 간섭신호를 생성하는 제1광섬유분배기;상기 제1광섬유분배기로부터 입사되는 빛의 광파워를 조절하기 위한 제3편광조절기; 상기 제3편광조절기를 통과한 샘플 스캐닝용 광선을 평행광으로 형성하기 위한 제2콜리메이터; 상기 평행광을 스캐닝하는 스캐닝미러; 상기 스캐닝미러를 통과한 샘플 스캐닝용 광선을 소형카메라 통합모듈로 포커싱하기 위한 제2렌즈 및 제3렌즈 및 제3편광조절기를 구비하여, 상기 소형카메라 통합모듈 내의 센서에 포커싱된 샘플신호를 수득하고, 이 때, 상기 제1광섬유분배기로부터 입사된 소형카메라 통합모듈 샘플 스캐닝용 광선이 콜리메이터에 의해 평행광으로 전환되고 상기 스캐닝미러에 의해 반사된 후 상기 제2렌즈 및 상기 제3렌즈를 통과하여 깊이 방향축 어느 한 곳에서 모이는 지점에 상기 소형카메라 통합모듈 샘플의 입구 윈도우가 위치하도록 상기 소형카메라 통합모듈 샘플의 높이를 맞추도록 구성된 것을 특징으로 하는 상기 샘플단;제2편광조절기를 구비하여 상기 제1광섬유분배기로부터 입사된 기준신호 획득용 광선이 제1콜리메이터에 의해 평행광으로 전환된 후, 광감쇄기 ND 필터를 통과한 후에 제1렌즈에 의해 골드 미러에 포커싱된 기준신호를 생성하는 상기 기준단;상기 제1광섬유분배기로부터 생성되고 제1광순환기를 통과한 절반의 간섭신호를 검출단으로 전달하는 제4편광조절기;상기 제1광섬유분배기로부터 생성된 절반의 간섭신호를 검출단으로 전달하는 제1편광조절기;상기 절반씩 입사된 간섭신호를 영상신호로 검출하는 검출단;상기 영상신호를 영상으로 구현하기 위한 컴퓨터를 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제11항에 있어서,상기 검출단은 듀얼 밸런스드 검출기를 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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고속파장가변광선을 생성하기 위한 광원;상기 고속파장가변광선을 소형카메라 통합모듈 샘플을 스캐닝하는 샘플단 및 상기 샘플의 영상정보 획득을 위한 기준단으로 각각 분배하는 제1광섬유분배기;상기 제1광섬유분배기로부터 분배된 고속파장가변광선을 보호하기 위한 제1광순환기;상기 제1광섬유분배기로부터 입사되는 빛의 광파워를 조절하기 위한 제3편광조절기; 상기 제3편광조절기를 통과한 샘플 스캐닝용 광선을 평행광으로 형성하기 위한 제2콜리메이터; 상기 평행광을 스캐닝하는 스캐닝미러; 상기 스캐닝미러를 통과한 샘플 스캐닝용 광선을 소형카메라 통합모듈로 포커싱하기 위한 제2렌즈 및 제3렌즈 및 제3편광조절기를 구비하여, 상기 소형카메라 통합모듈 내의 센서에 포커싱된 샘플신호를 수득하고, 이 때, 상기 제1광섬유분배기로부터 입사된 소형카메라 통합모듈 샘플 스캐닝용 광선이 콜리메이터에 의해 평행광으로 전환되고 상기 스캐닝미러에 의해 반사된 후 상기 제2렌즈 및 상기 제3렌즈를 통과하여 깊이 방향축 어느 한 곳에서 모이는 지점에 상기 소형카메라 통합모듈 샘플의 입구 윈도우가 위치하도록 상기 소형카메라 통합모듈 샘플의 높이를 맞추도록 구성된 것을 특징으로 하는 상기 샘플단;상기 제1광섬유분배기로부터 분배된 고속파장가변광선을 보호하기 위한 제2광순환기;상기 제2광순환기로부터 입사된 샘플의 영상정보 획득용 광선이 제1콜리메이터에 의해 평행광으로 전환된 후, 광감쇄기 ND 필터를 통과한 후에 제1렌즈에 의해 골드 미러에 포커싱되어 기준신호를 생성하는 기준단;상기 샘플단의 샘플신호를 제2광섬유분배기로 전달하는 제3편광조절기;상기 기준단의 기준신호를 상기 제2광섬유분배기로 전달하는 제2편광조절기;상기 입사된 샘플신호와 기준신호를 이용하여 간섭신호를 생성하고 듀얼 밸런스드 검출기로 절반씩 분배하는 제2광섬유분배기;상기 절반씩 입사된 간섭신호를 영상신호로 검출하는 듀얼 밸런스드 검출기;상기 영상신호를 영상으로 구현하기 위한 컴퓨터를 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치
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제1항의 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 장치의 샘플단 및 기준단으로 샘플 측정용 광선을 입사하는 광선 입사단계;상기 샘플단에서 상기 소형카메라 통합모듈 내의 센서에 포커싱된 샘플신호를 수득하는 샘플신호 수득단계;상기 기준단에서 기준신호를 생성하는 기준신호 생성단계;상기 샘플신호 및 기준신호를 이용하여 간섭신호를 생성하는 간섭신호 생성단계;상기 간섭신호를 영상으로 변환하는 영상 변환단계;상기 영상을 평가하여 소형카메라 통합모듈 샘플의 정상 또는 비정상 여부를 판별하는 평가단계를 포함하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 방법
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제14항에 있어서, 상기 영상의 가로라인 및 세로라인에 대한 영상 신호세기 프로파일 분석을 통해 상기 샘플의 정상 또는 비정상 여부를 추가로 판별하는, 소형카메라 통합모듈의 불량 검출 방법
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