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엘라스토머-플라스틱 하이브리드 마이크로 디바이스 제조를 위한 이종 기판 접합방법

  • 기술번호 : KST2018007457
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, (a) 실리콘(silicone)계 재료로 이루어진 제1 기판 표면을 산화시키는 단계; (b) 상기 산화된 제1 기판 표면에 아미노기를 도입하는 단계; 및 (c) 상기 아미노기가 도입된 제1 기판 표면과, 열가소성 플라스틱(thermoplastic)으로 이루어진 제2 기판의 표면이 서로 접하도록 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접촉시키는 단계;를 포함하는 이종 기판 접합방법에 대한 것으로서, 본 발명에 따른 이종 기판 접합방법에 의하면, 이종(heterogeneous) 기판 간의 접합시에 기판 표면 개질을 위해 단지 1종의 화학물질을 사용하고, 모든 과정이 상온에서 수행 가능하며, 나아가, 디바이스 접합에 일반적으로 요구되는 최종 산화 단계를 생략할 수 있어 대면적 이종 기판 접합이 종래에 비해 보다 간단하고 신속하게 이루어질 수 있다.
Int. CL B29C 65/00 (2018.01.01) C08J 5/12 (2006.01.01) C08L 83/04 (2006.01.01)
CPC B29C 66/026(2013.01) B29C 66/026(2013.01) B29C 66/026(2013.01) B29C 66/026(2013.01) B29C 66/026(2013.01) B29C 66/026(2013.01)
출원번호/일자 1020160160585 (2016.11.29)
출원인 가천대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0060739 (2018.06.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.29)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 가천대학교 산학협력단 대한민국 경기도 성남시 수정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이내윤 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인도담 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 가천대학교 산학협력단 경기도 성남시 수정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1171044-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0022422-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0838156-16
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0111664-91
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-0111663-45
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0390784-28
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2018.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0682784-08
9 법정기간연장승인서
 2018.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0108823-76
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2018.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0700092-34
11 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2018.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0700045-09
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2018.07.16 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2018-0695604-03
13 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2018.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0109682-03
14 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2018.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0110586-42
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0734363-43
16 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.07.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0734397-95
17 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0531212-54
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번호 청구항
1 1
(a) 실리콘(silicone)계 재료로 이루어진 제1 기판 표면을 산화시키는 단계;(b) 상기 산화된 제1 기판 표면을 아미노 실란으로 처리하여 실록산 결합(Si-O-Si)을 통해 제1 기판 표면에 아미노기를 도입하는 단계; 및(c) 상기 아미노기가 도입된 제1 기판 표면과, 카보네이트 기 또는 카보닐 기를 갖는 열가소성 플라스틱(thermoplastic)으로 이루어진 제2 기판의 표면이 서로 접하도록 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접촉시켜 제1 기판 표면과 제2 기판 표면을 우레탄 결합을 통해 접합시키는 단계;를 포함하되,상기 단계 (b)를 완료하고 단계 (c)를 실시하기 전에, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 산화시키는 공정을 실시하지 않는 것을 특징으로 하는 이종 기판 접합방법
2 2
제1항에 있어서,상기 단계 (a)에서 상기 제1 기판 표면을 산소 플라즈마(oxygen plasma)로 처리해 산화막을 기판 표면에 형성하는 것을 특징으로 하는 이종 기판 접합방법
3 3
제1항에 있어서,상기 단계 (b)에서 상기 산화된 제1 기판을 아미노 실란(amino silane)을 포함하는 용액에 침지시켜 기판 표면에 아미노기를 도입하는 것을 특징으로 하는 이종 기판 접합방법
4 4
제3항에 있어서,상기 아미노 실란은 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES), 3-아미노프로필트리메톡시실란(APTMS), N-(6-아미노헥실)-3-아미노프로필트리메톡시실란(AHAPS), N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란(AEAPS), 3-아미노프로필-디메틸에톡시실란(APMES) 및 3-(N,N-디메틸)-아미노프로필트리메톡시실란(DMAPS)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 이종 기판 접합방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 기판은 PDMS(poly(dimethylsiloxane))로 이루어진 것을 특징으로 하는 이종 기판 접합방법
6 6
제1항에 있어서,상기 단계 (a) 내지 단계 (c)는 상온(room temperature)에서 실시하는 것을 특징으로 하는 이종 기판 접합방법
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서,상기 제2 기판은 폴리카보네이트(PC), 폴리이미드(PI), 폴리(메틸메타크릴레이트)(PMMA), 폴리스티렌(PS) 또는 폴리(에틸렌테레프탈레이트)(PET)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이종 기판 접합방법
9 9
제1항 내지 제6항 및 제8항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조된 이종 기판 접합체
10 10
제9항의 이종 기판 접합체를 포함하는 마이크로 디바이스
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 가천대학교 기초연구사업/일반연구자지원사업/여성과학자지원사업 적조 경보를 위한 휴대형 유전자 분석용 일체형 플라스틱 미세유체칩 개발