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승화성물질의 증착장치

  • 기술번호 : KST2018007559
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 승화성물질의 증착장치에 있어서, 승화성물질이 내부에 저장되며 외부 또는 내부의 열원에 의해 가열되며 상기 승화성물질이 승화되는 도가니본체와, 상기 도가니본체의 상부에 형성되며 상부가 개방된 개방부를 포함하는 도가니와; 상기 개방부에 결합되며 상기 승화성물질이 승화되어 외부로 배출되도록 중앙영역에 관통공이 형성된 덮개부를 포함하며, 상기 덮개부는 상기 도가니보다 높은 온도로 이루어지는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 도가니보다 높은 온도로 가열된 덮개부에 의해 승화성물질이 균일하고 안정적인 증착률로 기판에 증착되는 효과를 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/22 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01L 21/203(2013.01)H01L 21/203(2013.01)H01L 21/203(2013.01)H01L 21/203(2013.01)H01L 21/203(2013.01)
출원번호/일자 1020160162620 (2016.12.01)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0062673 (2018.06.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호섭 대한민국 경상남도 김해시 번화*로 ***, ***
2 하동우 대한민국 경상남도 창원시 의창구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-1179842-47
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번호 청구항
1 1
승화성물질의 증착장치에 있어서,승화성물질이 내부에 저장되며 외부 또는 내부의 열원에 의해 가열되며 상기 승화성물질이 승화되는 도가니본체와, 상기 도가니본체의 상부에 형성되며 상부가 개방된 개방부를 포함하는 도가니와;상기 개방부에 결합되며 상기 승화성물질이 승화되어 외부로 배출되도록 중앙영역에 관통공이 형성된 덮개부를 포함하며,상기 덮개부는 상기 도가니보다 높은 온도로 이루어지는 것을 특징으로 하는 승화성물질의 증착장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 도가니의 소재는 그라파이트(garphite)로 이루어지며,상기 덮개부의 소재는 몰리브덴(Mo), 탄탈럼(Ta) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 승화성물질의 증착장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 도가니를 가열하도록 상기 도가니의 주변을 둘러싸는 인덕션 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 승화성물질의 증착장치
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제 1항에 있어서,상기 덮개부에는 덮개히터가 결합되어 상기 덮개부를 상기 도가니보다 높은 온도로 이루어지도록 가열하는 것을 특징으로 하는 승화성물질의 증착장치
5 5
제 4항에 있어서,상기 도가니의 주변에는 상기 덮개히터보다 낮은 온도로 상기 도가니를 가열하는 도가니히터가 배치된 것을 특징으로 하는 승화성물질의 증착장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 덮개부의 관통공은 상기 덮개부의 전체 넓이에 대해 10 내지 30%의 넓이로 형성된 것을 특징으로 하는 승화성물질의 증착장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 재료연구소 원천기술개발사업 High-throughput 법을 이용한 신자성소재 개발