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순차적으로 연결된 제1면, 제2면, 제3면, 제4면을 구비하고, 제1면과 제3면이 서로 대향 배치되고, 제2면과 제4면이 서로 대향 배치되며, 제2면과 제3면이 만나는 모서리와 제1면과 제4면이 만나는 모서리를 연결하는 편광빔 분리면을 갖는 편광빔 스플리터;상기 편광빔 스플리터의 제2면에 배치된 제1 QWP;상기 제1 QWP의 일면에 배치되어 제1 QWP로부터 출력된 빔을 되반사시켜 제1 QWP 로 다시 제공하는 반사경;상기 편광빔 스플리터의 제3면에 배치된 제2 QWP;상기 편광빔 스플리터의 제4면과 마주 보도록 배치되어, 상기 편광빔 스플리터의 제4면으로부터 출력된 빔을 2번 수직 반사시켜 편광빔 스플리터의 제4면으로 다시 제공하는 프리즘;상기 편광빔 스플리터의 제4면과 프리즘의 사이에 배치되며, 상기 편광빔 스플리터로부터 출력된 빔의 편광 방향을 90도 회전시키는 HWP;를 구비하여, 편광빔 스플리터의 제1 면으로 입사된 빔이 편광 성분에 따라 2개의 빔으로 나뉘어 각각 서로 다른 제1 광경로와 제2 광경로를 따라 진행하되, 상기 2개의 빔은 서로 일정 거리 이격되어 평행하게 상기 제2 QWP를 출사하는 것을 특징으로 하는 평행빔 광학 소자
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제1항에 있어서, 상기 편광빔 스플리터의 제1면으로 입사된 빔은 편광 성분에 따라 2개의 빔으로 나뉘고, 상기 2개의 빔은 서로 일정 거리 이격되어 제3면 및 제2 QWP의 서로 다른 위치로 평행하게 출사되고,제2 QWP를 출사한 상기 2개의 빔은 편광빔 스플리터로 재입사된 후 각각 제1 광경로와 제2 광경로를 진행하여 편광빔 스플리터의 제1면으로 함께 출력되는 것을 특징으로 하는 평행빔 광학 소자
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제1항에 있어서, 상기 HWP는, 빔이 프리즘으로 입사되는 위치에 배치되거나 프리즘으로부터 출사되는 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 평행빔 광학 소자
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광원;검사할 시료가 안착되는 샘플 미러 및 기준 미러가 장착된 스테이지;상기 광원으로부터 제공된 빔이 입사되고, 입사된 빔을 편광 성분에 따라 신호빔과 기준빔으로 분리하고, 신호빔 및 기준빔을 각각 상기 샘플 미러 및 기준 미러로 제공하고, 상기 샘플 미러로부터 반사된 신호빔과 상기 기준 미러로부터 반사된 기준빔을 출력하는 평행빔 광학 소자;상기 평행빔 광학 소자로부터 제공된 신호빔과 기준빔을 간섭시켜 신호빔과 기준빔의 사이에 유도된 위상 차이를 복조하여 출력하는 복조부;를 구비하고, 상기 평행빔 광학 소자는, 순차적으로 연결된 제1면, 제2면, 제3면, 제4면을 구비하고, 제1면과 제3면이 서로 대향 배치되고, 제2면과 제4면이 서로 대향 배치되며, 제2면과 제3면이 만나는 모서리와 제1면과 제4면이 만나는 모서리를 연결하는 편광빔 분리면을 갖는 편광빔 스플리터;상기 편광빔 스플리터의 제2면에 배치된 제1 QWP;상기 제1 QWP의 일면에 배치되어 제1 QWP로부터 출력된 빔을 되반사시켜 제1 QWP 로 다시 제공하는 반사경;상기 편광빔 스플리터의 제3면에 배치된 제2 QWP;상기 편광빔 스플리터의 제4면과 마주 보도록 배치되어, 상기 편광빔 스플리터의 제4면으로부터 출력된 빔을 2번 수직 반사시켜 편광빔 스플리터의 제4면으로 다시 제공하는 프리즘;상기 편광빔 스플리터의 제4면과 프리즘의 사이에 배치되며, 상기 편광빔 스플리터로부터 출력된 빔의 편광방향을 90도 회전시키는 HWP;를 구비하여, 편광빔 스플리터의 제1 면으로 입사된 빔이 편광 성분에 따라 신호빔과 기준빔으로 나뉘고, 상기 신호빔과 기준빔은 각각 서로 다른 제1 광경로와 제2 광경로를 따라 진행하여 편광빔 스플리터의 제1면으로 함께 출사하는 것을 특징으로 하는 평행빔 광학 소자를 이용한 간섭계
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제4항에 있어서, 상기 평행빔 광학 소자는, 상기 편광빔 스플리터의 제1면으로 입사된 빔이 편광 성분에 따라 신호빔과 기준빔으로 분리되고, 상기 신호빔과 기준빔이 일정 거리 이격되어 서로 평행하게 샘플 미러 및 기준 미러로 각각 출사되도록 구성되고,샘플 미러 및 기준 미러로부터 각각 반사된 신호빔과 기준빔은 평행빔 광학 소자로 다시 입사된 후 편광빔 스플리터의 제1면으로 함께 출사하는 것을 특징으로 하는 평행빔 광학 소자를 이용한 간섭계
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제4항에 있어서, 상기 평행빔 광학 소자는, 상기 제2 QWP를 출사하는 신호빔과 기준빔이 서로 평행빔이 되어 상기 스테이지의 샘플 미러와 기준 미러로 각각 진행하도록 구성된 것을 특징으로 하는 평행빔 광학 소자를 이용한 간섭계
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제4항에 있어서, 상기 HWP는, 빔이 프리즘으로 입사되는 위치에 배치되거나 프리즘으로부터 출사되는 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 평행빔 광학 소자를 이용한 간섭계
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