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경사형 열전소자 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018007576
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 경사형 열전소자에 관한 것으로, 상세하게, 본 발명에 따른 경사형 열전소자는 경사진 열전물질층과 금속층이 교번 적층된 열전소자이며, 열전물질층과 금속층의 적층체 최 상부 표면을 기준면으로, 기준면 상, 열전물질층과 금속층 간의 계면의 형상이 곡선 내지 꺾은 선 형을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 35/32 (2006.01.01) H01L 35/02 (2006.01.01) H01L 35/16 (2006.01.01) H01L 35/18 (2006.01.01) H01L 35/34 (2006.01.01)
CPC H01L 35/32(2013.01) H01L 35/32(2013.01) H01L 35/32(2013.01) H01L 35/32(2013.01) H01L 35/32(2013.01)
출원번호/일자 1020160162441 (2016.12.01)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-2050767-0000 (2019.11.26)
공개번호/일자 10-2018-0062600 (2018.06.11) 문서열기
공고번호/일자 (20191204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.01)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정엽 대한민국 대전광역시 유성구
2 장성환 대한민국 대전광역시 유성구
3 한승우 대한민국 대전광역시 유성구
4 우창수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-1178671-68
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.04.05 수리 (Accepted) 9-1-2018-0013477-36
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0408845-82
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0797893-39
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.08.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0797794-17
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2018.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0858846-15
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.02.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0148747-72
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2019-0148751-55
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0438235-23
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2019.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0740168-77
13 법정기간연장승인서
 2019.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0122121-07
14 면담 결과 기록서
 2019.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0084170-74
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2019.08.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0848634-41
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0848697-17
17 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2019.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0663811-34
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
경사진 열전물질층과 금속층이 계면을 이루며 교번 적층된 경사형 열전소자로,상기 열전물질층과 금속층이 교번 적층된 적층체는 적층 방향에 평행한 면인 최 상부 표면, 최 상부 표면에 대향하는 최 하부 표면 및 측면을 가지며,상기 열전물질층과 금속층간의 계면은 곡면 내지 서로 상이한 평면들로 이루어진 3차원적 형상이고,상기 3차원적 형상의 계면에 의해, 상기 최 상부 표면을 기준면으로 하여, 상기 기준면에서 선의 형상으로 나타나는 상기 열전물질층과 상기 금속층 간의 계면의 형상은 곡선 형상, 꺾은 선 형상 또는 이들의 조합을 일 단위로 하여 상기 일 단위가 반복되는 형상을 포함하며, 상기 측면에서 선의 형상으로 나타나는 상기 열전물질층과 상기 금속층 간의 계면 형상이 직선인 경사형 열전소자
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 기준면 상, 상기 곡선 형상은 변곡점을 갖는 경사형 열전소자
4 4
제 3항에 있어서,상기 기준면 상, 상기 계면의 형상은 파형(wave form)인 경사형 열전 소자
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서,상기 기준면 상, 상기 꺾은 선 형상에서 꺾은 선을 이루는 두 선분간의 각도는 10° 내지 170°인 경사형 열전 소자
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서, 상기 기준면 상, 곡선 형상은 서로 상이한 곡률을 갖거나 서로 상이한 주기를 갖는 둘 이상의 단위의 조합에 의한 형상인 경사형 열전 소자
9 9
제 1항에 있어서,상기 기준면 상, 상기 꺾은 선 형상은, 꺾은 선을 이루는 두 선분을 기준으로 서로 상이한 선분간 각도, 서로 상이한 선분의 길이, 또는 상이한 선분간 각도와 상이한 선분의 길이를 갖는 둘 이상의 꺾은 선을 포함하는 경사형 열전 소자
10 10
제 1항에 있어서,교번 적층되는 금속층 중, 일 금속층을 기준으로, 상기 일 금속층의 일 측과 접하는 열전물질 층과의 계면을 제1계면으로, 상기 일 금속층의 다른 일 측과 접하는 열전물질 층과의 계면을 제2계면으로, 상기 기준면 상, 상기 제1계면과 상기 제2계면의 형상이 서로 동일하거나 대칭인 경사형 열전 소자
11 11
제 10항에 있어서,상기 제1계면의 형상에 대해 상기 제2계면의 형상이 동일하거나 대칭이되, 상기 기준면 상 상기 열전물질층과 금속층이 교번 적층되는 적층 방향에 수직인 방향으로 이동된 형상인 경사형 열전 소자
12 12
제 1항에 있어서,상기 열전물질층의 열전물질은 N형 열전물질 또는 P형 열전물질인 경사형 열전 소자
13 13
제 12항에 있어서,상기 N형 열전물질은 비스무스, 콘스탄탄constantan), 니켈, 포타슘, 코발트 안티모나이드, 비스무스-텔루륨계 또는 비스무스-텔레늄-셀레늄계 화합물을 포함할 수 있으며, P형 열전물질은 셀레늄, 텔레늄, 실리콘, 게르마늄, 안티모니, 니크롬, 몰리브덴, 구리, 알루미늄, 카본, 백금, 아연 안티모나이드, 안티몬-텔루륨계 또는 비스무스-안티몬-텔루늄계 화합물을 포함하는 경사형 열전 소자
14 14
제 1항, 제 3항 내지 제 4항, 제 6항 및 제 8항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 따른 경사형 열전 소자의 제조방법으로, 기준면에서의 열전물질층과 금속층 간의 계면의 형상에 대응하는, 곡선 형상, 꺾은 선 형상 또는 이들의 조합을 일 단위로 하여 상기 일 단위가 반복되는 형상의 테두리를 갖는 투광 또는 차광 패턴을 포함하는 광마스크를 이용하여, 광축이 경사되도록 광원 내지 감광층이 형성된 기판을 경사시켜 감광층을 노광한 후 현상하여, 패턴화된 감광층을 형성하는 단계; 상기 패턴화된 감광층을 몰드로 이용하여 금속층 및 열전물질층을 형성하는 단계;를 포함하는 경사형 열전소자의 제조방법
15 15
제 14항에 있어서,a) 전도성 표면을 갖는 기판 상, 감광층을 형성하는 단계;b) 상기 패턴화된 감광층을 형성하는 단계;c1) 상기 전도성 표면을 일 전극으로 하여, 금속의 전해도금을 수행하고, 패턴화된 감광층을 제거하여, 전도성 표면 상 패턴화된 금속을 제조하는 단계; 및d) 패턴화된 금속 사이의 빈 공간에 열전물질을 채우는 단계;를 포함하는 경사형 열전소자의 제조방법
16 16
제 14항에 있어서,a) 전도성 표면을 갖는 기판 상, 감광층을 형성하는 단계;b) 상기 패턴화된 감광층을 형성하는 단계;c2) 상기 전도성 표면을 일 전극으로 하여, 희생금속의 전해도금을 수행하고, 패턴화된 감광층을 제거하여, 전도성 표면 상 패턴화된 희생금속을 제조하는 단계;c3) 상기 패턴화된 희생금속 사이의 빈 공간을 채우며 상기 패턴화된 희생금속을 덮도록 제1금속을 전해도금한 후, 제1금속과 희생금속이 모두 표면으로 노출되도록 연마하고 희생금속을 제거하여, 패턴화된 제1금속을 제조하는 단계; 및d) 패턴화된 제1금속 사이의 빈 공간에 열전물질을 채우는 단계;를 포함하는 경사형 열전 소자의 제조방법
17 17
제 16항에 있어서,상기 노광은 X-선 노광인 경사형 열전 소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.