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Ni, Cu, Cr, Fe 및 Al로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속 소재를 갈바닉 치환반응시켜 BixTey(1＜x≤3, 2＜y≤4), BixSey(1＜x≤3, 2＜y≤4), SbxTey(1＜x≤3, 2＜y≤4), SbxSey(1＜x≤3, 2＜y≤4), (Bi1-mSbm)xTey(0＜m＜1, 1＜x≤3, 2＜y≤4), PbxTey(0＜x≤2, 0＜y≤2) 및 PbxSey(0＜x≤2, 0＜y≤2)으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 가스 감지소재를 형성하는 단계;상기 가스 감지소재를 센서소자 위에 집적화하기 위한 페이스트를 형성하는 단계; 및금속 전극이 노출되어 있는 상기 센서소자의 센싱면 상부에 상기 페이스트를 프린팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 소재는 구(sphere), 막대(rod), 플레이트(plate), 플레이크(flake), 필름(film), 나노선(nanowire) 및 나노섬유(nanofiber)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 가스 감지소재는 구(sphere), 막대(rod), 플레이트(plate), 플레이크(flake), 필름(film), 나노선(nanowire) 및 나노섬유(nanofiber)로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 가스 감지소재는 셀레늄(Se) 및 텔루륨(Te) 중에서 선택된 1종 이상의 칼코겐을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 가스 감지소재는 칼코겐과 칼코게나이드가 혼합되어 있는 물질인 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 페이스트는 상기 가스 감지소재, 바인더 및 용매를 포함하며, 상기 바인더는 상기 페이스트에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 10∼100중량부 함유되어 있고, 상기 용매는 상기 페이스트에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 70∼200중량부 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 페이스트는 그래핀(graphene), 탄소나노튜브(carbon nanotube), 카본블랙 및 흑연으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 첨가제를 더 포함하고, 상기 첨가제는 상기 페이스트에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 1∼50중량부 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 페이스트는 Pd, Pt, Ru, Au 및 Ag로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속 촉매를 더 포함하고, 상기 금속 촉매는 상기 페이스트에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 1∼50중량부 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 프린팅은 드랍핑(dropping), 디스펜싱(dispensing), 잉크젯 프린팅(inkjet printing), 전기수력학 젯프린팅(electrohydrodynamic jet printing), 핸드프린팅(hand printing) 및 스크린프린팅(scree printing)으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 방법을 포함하는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 센서소자는 기판, 상기 기판 상부에 형성된 절연층 및 상기 절연층 상부에 패턴화되어 있는 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 상온 구동형 가스센서의 제조방법
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