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웨이퍼가 수납되는 제1 프레임;상기 제1 프레임의 하부에 위치하며 상기 제1 프레임과 대향되도록 배치되는, 제2 프레임;상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임을 연결하도록 길이 방향을 따라 하부로 연장되는, 지지 프레임; 및 지면과 상기 제2 프레임 사이에 위치하며 회전축을 중심으로 회전하는 회전부 및 상기 회전부의 일 측에 위치하며 상기 회전축과 수직인 면과 제1 각도를 갖도록 배치되는 제1 각도제한부를 포함하는, 적어도 하나 이상의 회전 부재;를 구비하며,상기 회전 부재는 상기 회전부의 일 측면에 있어서, 상기 회전축 상에 위치한 회전 중심에 결합되는 제1 자력부 및 상기 제1 자력부와 쌍을 이루며 상기 제1 자력부에 대응되도록 상기 제1 각도제한부의 내측면에 배치되는 제2 자력부를 포함하는, 웨이퍼 이송장치
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제1항에 있어서,상기 회전부의 타 측에 위치하며, 상기 회전축과 수직인 면과 제2 각도를 갖도록 배치되는 제2 각도제한부를 더 포함하는, 웨이퍼 이송장치
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3
제2항에 있어서,상기 제1 각도 및 상기 제2 각도는 예각인, 웨이퍼 이송장치
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삭제
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제2항에 있어서,상기 회전 부재는 상기 회전부의 타 측면에 있어서, 상기 회전축 상에 위치한 회전 중심에 결합되는 제3 자력부 및 상기 제3 자력부와 쌍을 이루며 상기 제3 자력부에 대응되도록 상기 제2 각도제한부의 내측면에 배치되는 제4 자력부를 더 포함하는, 웨이퍼 이송장치
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6
제2항에 있어서,상기 제1 각도제한부 및 상기 제2 각도제한부는 플라스틱재로 형성되는, 웨이퍼 이송장치
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7
제1항에 있어서,상기 제1 프레임은 중앙부를 기준으로 V자 형으로 기 설정된 각도로 절곡된 제1 면 및 제2 면을 포함하는, 웨이퍼 이송장치
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8
제7항에 있어서,상기 제1 면 또는 상기 제2 면이 지면과 이루는 각도는 2° 내지 5°인, 웨이퍼 이송장치
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9
제7항에 있어서,상기 제1 면 또는 상기 제2 면과 수직을 이루도록 상기 제1 프레임 상에 소정 간격으로 이격되어 배치되는 분리판을 더 포함하는, 웨이퍼 이송장치
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10
제1항에 있어서,상기 제1 프레임과 상기 지지 프레임을 연결하도록 상기 제1 프레임과 상기 지지 프레임에 결합되는 제1 보강 프레임 및 상기 제2 프레임과 상기 지지 프레임을 연결하도록 상기 제2 프레임과 상기 지지 프레임에 결합되는 제2 보강 프레임을 더 포함하는, 웨이퍼 이송장치
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