| 1 |
1
기판 타입의 검사 대상물이 놓이는 로딩부와, 상기 로딩부의 하부에서 상기 로딩부를 지지하며 내부 공간을 구비한 지지 프레임을 포함하는 척 바디;상기 지지 프레임에 관통 배치되어 상기 내부 공간의 압력이 진공 압력이 되도록 하는 진공 형성 밸브; 및상기 지지 프레임에 장착되며, 상기 로딩부에 놓이는 상기 검사 대상물의 형상에 따라 상기 내부 공간의 형상을 변형시키는 공간 변형부를 포함하고,상기 지지 프레임은, 상기 로딩부의 외주연을 지지하는 복수 개의 측벽부재; 및상기 복수 개의 측벽부재의 하단을 받치는 바닥부재를 포함하며,상기 복수 개의 측벽부재와 상기 바닥부재에 의해 형성되는 상기 내부 공간이 중앙 영역부터 진공으로 형성되도록 상기 바닥부재의 중앙에 상기 진공 형성 밸브가 관통 형성되고,상기 공간 변형부는 상기 진공 형성 밸브가 장착되는 부분을 중심으로 상기 내부 공간의 양측에 배치되어 상기 검사 대상물의 형상에 따라 상기 내부 공간의 형상을 변형시키는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 공간 변형부는,유연성 있는 재질로 마련되는 분리막;상기 분리막의 양 단부가 장착되어 상기 분리막의 탄력을 조절하는 분리막 탄력 조절부재;상기 내부 공간에서 상기 분리막의 하부에 배치되어 상기 분리막의 높이 방향으로의 위치를 조절하는 적어도 하나의 분리막 위치 조절부재; 및상기 적어도 하나의 분리막 위치 조절부재를 개별적으로 구동시키는 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 분리막 탄력 조절부재는,상기 분리막의 일단부를 고정시키는 아이들 휠;상기 분리막의 타단부를 감거나 풀어서 상기 분리막의 탄력을 조절하도록 하는 롤링 릴을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척
|
| 6 |
6
제4항에 있어서,상기 적어도 하나의 분리막 위치 조절부재는 상기 바닥부재에서 등간격으로 배치되는 복수 개의 분리막 위치 조절부재이며,상기 검사 대상물의 형상에 따라 상기 구동부재에 의한 상기 분리막 위치 조절부재의 조절이 이루어져 상기 분리막의 위치가 조절됨으로써 상기 내부 공간의 형상을 변형시키는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 로딩부에 놓이는 상기 검사 대상물의 형상을 검사하는 검사부; 및상기 검사부에 의해 획득된 상기 검사 대상물의 형상에 따라 상기 공간 변형부의 작동을 제어하여 상기 내부 공간의 형상을 변형시키도록 하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 로딩부는 상기 진공 형성 밸브로부터 제공되는 흡입력이 상기 검사 대상물에 전달될 수 있도록 다공질의 세라믹으로 제조되는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척
|
| 9 |
9
제1항에 따른 반도체 기판용 진공 척을 이용한 상기 검사 대상물의 검사 방법에 있어서,검사부를 이용하여 상기 검사 대상물의 형상을 검사하는 형상 검사 단계; 상기 형상 검사 단계에 의해 검사된 상기 검사 대상물의 형상에 맞게, 제어부에 의해 상기 공간 변형부를 변형시켜 상기 내부 공간의 형상을 변형시키는, 공간 변형 단계; 및상기 진공 형성 밸브를 작동시켜 상기 내부 공간의 압력을 진공 압력으로 형성시킴으로써 상기 검사 대상물을 상기 로딩부에 안착시키는 진공 형성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척을 이용한 검사 대상물의 검사 방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 진공 형성 단계에 의해 상기 로딩부에 밀착된 상기 검사 대상물에 대한 검사를 실행하는 검사 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판용 진공 척을 이용한 검사 대상물을 검사 방법
|
