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투명 기판;상기 투명 기판 상에 형성되는 발열막으로서, 상기 발열막은 투명한 기재막과, 상기 기재막에 임베디드(embedded)되는 금속 나노 와이어(nanowires)를 포함하는 발열막; 및상기 발열막 상에 형성되고, 상기 발열막의 표면을 차단하고, NiO를 포함하는 캡핑막을 포함하되,상기 금속 나노 와이어는 은 나노 와이어를 포함하고,상기 캡핑막의 상면은 외부로 노출되는 투명 히터
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제1 항에 있어서,상기 투명 기판은 휘어지고, 복원되는 유연 기판을 포함하는 투명 히터
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제3 항에 있어서,상기 유연 기판은 PET(Polyethylene phthalate) 또는 PI(PolyImide)재질을 가지는 투명 히터
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제1 항에 있어서,상기 캡핑막의 두께는 10 내지 500nm인 투명 히터
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제1 항에 있어서,상기 투명 히터의 가시광 투과도는 50% 이상 100% 이하인 투명 히터
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제1 항에 있어서,상기 금속 나노 와이어는 상기 기재막에 완전히 임베디드(FE, fully embedded)되는 투명 히터
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제1 항에 있어서,상기 금속 나노 와이어는 상기 기재막에 일부만 임베디드(PE, patially embedded)되는 투명 히터
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제8 항에 있어서,상기 금속 나노 와이어의 일부는 상기 캡핑막과 접하는 투명 히터
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제1 항에 있어서,상기 기재막은 PI(polyimide) 재질을 가지는 투명 히터
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투명 유연 기판과, 상기 투명 유연 기판 상에 형성되는 발열막으로서, 상기 발열막은 투명한 기재막과, 상기 기재막에 임베디드(embedded)되는 금속 나노 와이어(nanowires)를 포함하는 발열막과, 상기 발열막 상에 형성되고, 상기 발열막의 표면을 차단하고, NiO를 포함하는 캡핑막을 포함하는 투명 히터 모듈; 및상기 히터 모듈의 가장 자리에 형성되어 상기 발열막과 전기적으로 접속되는 도전 전극을 포함하되,상기 캡핑막의 상면은 외부로 노출되는 투명 히터
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제11 항에 있어서,상기 도전 전극은 제1 및 제2 도전 전극을 포함하고,상기 제1 및 제2 도전 전극에는 서로 다른 도전형의 전원이 연결되어 상기 발열막에 직류 전압을 공급하는 투명 히터
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투명 기판을 제공하고,상기 투명 기판 상에 기재막과, 상기 기재막에 임베디드되는 금속 나노 와이어를 포함하는 발열막을 형성하고,상기 발열막 상에 IPL(intense pulsed light)을 조사하고,상기 발열막 상에 상기 발열막의 표면을 덮고, NiO를 포함하는 캡핑막을 형성하는 것을 포함하되,상기 캡핑막의 상면은 외부로 노출되는 투명 히터 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 금속 나노 와이어는 상기 기재막에 완전히 임베디드(FE, fully embedded)되는 투명 히터 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 금속 나노 와이어는 상기 기재막에 일부만 임베디드(PE, patially embedded)되는 투명 히터 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 금속 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어를 포함하는 투명 히터 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 캡핑막을 형성하는 것은,순수 니켈 타겟과, 아르곤 가스와, 산소 가스로 상온에서 상기 캡핑막을 리액티브 스퍼터링하는 것을 포함하는 투명 히터 제조 방법
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제17 항에 있어서,상기 리액티브 스퍼터링하는 것은 상기 산소 가스의 유량을 1 내지 20sccm 으로 하여 리액티브 스퍼터링 하는 것을 포함하는 투명 히터 제조 방법
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