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대상 물질의 3차원 표면 이미지를 측정하는 표면 이미지 측정 유닛;대상 물질의 표면을 스퍼터링 하는 스퍼터링 부와 스퍼터링 전과 후의 대상 물질의 깊이 방향에 따른 복수의 2차원 이온 이미지를 측정하는 이온 이미지 측정부를 포함하는 2차원 이미지 측정 유닛; 및상기 표면 이미지 측정 유닛에 의해 측정된 3차원 표면 이미지와 상기 이온 이미지 측정 유닛에 깊이 방향에 따른 2차원 이온 이미지에 의하여 3차원 화학성분 이미지를 산출하는 3차원 이미지 산출 유닛을 포함하고,상기 3차원 이미지 산출 유닛은,깊이 방향에 따라 측정된 복수의 2차원 이온 이미지를 스퍼터링 시간에 따라 비례하는 두께 성분을 부가하여 깊이 방향으로 축적하여 3차원 이온 이미지를 산출하는 이온 이미지 축적부;상기 3차원 이온 이미지에서 상기 3차원 표면 이미지를 통하여 높이 방향 성분을 보정하는 표면 이미지 보정부; 및 표면이 보정된 3차원 이온 이미지에서 각 이온별 스퍼터링 속도에 따라 가중치를 부여하여 각 이온에 대한 두께 성분을 보정하여 3차원 화학성분 이미지를 산출하는 두께 보정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 표면 이미지 보정부에서, 표면 형상을 일치시키도록 상기 3차원 이온 이미지와 상기 3차원 표면 이미지 중 어느 하나의 이미지를 이동시켜 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 표면 이미지 측정 유닛은 원자 현미경인 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 이온 이미지 측정부는 이차이온 질량분석기인 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 시스템
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제 5 항에 있어서,상기 이차이온 질량분석기는, 비행시간형 질량분석기, 자기장 질량분석기 및 사중극자 질량분석기 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 시스템
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대상 물질의 3차원 표면 이미지를 측정하는 단계;대상 물질의 2차원 이온 이미지를 측정하는 단계;기설정된 깊이의 대상 물질의 2차원 이온 이미지를 획득할 때까지, 대상 물질을 스퍼터링 하고 스퍼터링 된 표면의 2차원 이온 이미지를 한번 이상 측정하는 단계; 및측정된 3차원 표면 이미지와 깊이 방향에 따른 복수의 2차원 이온 이미지를 사용하여 3차원 화학성분 이미지를 산출하는 단계를 포함하고,상기 3차원 화학성분 이미지를 산출하는 단계는,상기 깊이 방향에 따른 복수의 2차원 이온 이미지에 스퍼터링 시간에 따라 비례하는 두께 성분을 부가하여 깊이 방향으로 축적하여 3차원 이온 이미지를 산출하는 단계;상기 3차원 이온 이미지에 상기 3차원 표면 이미지를 결합하여 높이 방향 성분이 보정된 3차원 이온 이미지를 산출하는 단계; 및상기 높이 방향 성분이 보정된 3차원 이온 이미지에서 각 이온별 스퍼터링 속도에 따라 가중치를 부여하여 각 이온에 대한 두께 성분을 보정하여 3차원 화학성분 이미지를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 방법
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제 7 항에 있어서,상기 2차원 이온 이미지는 대상 물질의 표면 이미지를 측정한 후에 측정되는 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 방법
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제 7 항에 있어서,상기 높이 방향 성분이 보정된 3차원 이온 이미지를 산출하는 단계에서, 상기 3차원 이온 이미지와 상기 3차원 표면 이미지 중 하나의 위치를 보정하고, 상기 3차원 이온 이미지에 상기 3차원 표면 이미지를 결합하는 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 3차원 표면 이미지를 측정하는 단계는, 원자현미경(AFM)의 접촉 모드, 비접촉 모드 및 텝핑 모드 중 하나 이상의 모드로 대상 물질의 3차원 표면 이미지를 측정하는 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 방법
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제 7 항에 있어서,상기 대상 물질의 표면 또는 스퍼터링 표면의 2차원 이온 이미지는 이차이온 질량분석기를 사용하여 측정되는 것을 특징으로 하는 3차원 화학성분 이미지 측정 방법
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