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네스트유닛을 포함하는 아크이온플레이팅장치

  • 기술번호 : KST2018008000
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 네스트유닛을 포함하는 아크이온플레이팅장치는, 샘플이 수용되는 챔버, 아킹 현상에 의해 용융되어 증발되면서 이온화되는 타겟, 일측이 상기 챔버와 연결되고, 타측이 상기 타겟과 연결되어 이온빔의 이동 경로를 형성하는 필터라인 및 상기 챔버와 상기 필터라인의 연결부에 구비되며, 상기 필터라인을 따라 이동하는 이온빔을 흔들어 입사 범위 및 속도를 증가시키는 네스트유닛을 포함한다.
Int. CL C23C 14/32 (2006.01.01) C23C 14/56 (2006.01.01) H01J 37/32 (2006.01.01)
CPC C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01)
출원번호/일자 1020160166770 (2016.12.08)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0066371 (2018.06.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.08)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김왕렬 대한민국 충남 천안시 서북구
2 박인욱 대한민국 경기도 화성
3 김준호 대한민국 경상남도 양산시
4 전종배 대한민국 부산광역시 사상구
5 이욱진 대한민국 부산 동래구
6 정우창 대한민국 부산광역시 부산진구
7 허성보 대한민국 부산 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)
3 권정기 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-1205079-72
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction		 2016.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0176456-71
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0037850-81
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0258562-36
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.06.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0591167-35
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0591164-09
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
9 등록결정서
Decision to grant		 2018.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0639158-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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샘플이 수용되는 챔버;아킹 현상에 의해 용융되어 증발되면서 이온화되는 타겟;일측이 상기 챔버와 연결되고, 타측이 상기 타겟과 연결되어 이온빔의 이동 경로를 형성하는 필터라인; 및상기 챔버와 상기 필터라인의 연결부에 구비되며, 상기 필터라인을 따라 이동하는 이온빔을 흔들어 입사 범위 및 속도를 증가시키는 네스트유닛;을 포함하며,상기 필터라인은 길이 방향으로 길게 형성되되, 외측 둘레에는 길이 방향을 따라 복수 개의 코일이 구비되어, 상기 코일에 전류가 흐르는 상태에서 상기 이온빔에 방향성을 인가하고,상기 네스트유닛은 상기 필터라인의 일단부 둘레를 감싸도록 구비되어, 상기 필터라인 일단부 내측에 자기장을 전개하는 자석부를 포함하며,상기 자석부는 상기 필터라인 일단부 둘레를 따라 구비되는 복수의 전자석을 포함하여 상기 전자석의 자속력을 조절함에 따라 상기 이온빔의 입사 범위 및 가속력을 조절 가능하게 형성되되,상기 자석부는 상기 필터라인 둘레를 따라 영역 별로 분할되어 각 영역 별로 서로 다른 주파수의 전류를 인가하도록 형성됨에 따라, 상기 필터라인을 기준으로 서로 반대 측에 가해지는 주파수를 다르게 하여 상기 이온빔을 더욱 흔들고 이온들의 이동 가속도를 상승시켜 에너지를 증가시키며,상기 네스트유닛과 연결되어 상기 네스트유닛을 둘레 방향으로 회전시키고, 상기 네스트유닛의 회전 속도를 조절하도록 형성되어 상기 이온빔이 더욱 큰 폭으로 흔들리도록 하는 회전유닛을 더 포함하는 아크이온플레이팅장치
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