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미리 정해진 파장 범위 내의 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하는 광원;상기 광원에서 조사된 상기 자외선을 집광하는 집광부;상기 집광부로부터 전달된 상기 자외선을 대상물로 전달하거나, 상기 대상물로부터 반사된 자외선 또는 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는 빔 스플리터;상기 빔 스플리터를 통과한 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키는 투과 필터; 상기 투과 필터를 통과한 상기 자외선 또는 형광된 빛을 수광하는 수광부;상기 투과 필터에 연결되며, 상기 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키도록 제어하는 투과 필터 제어부; 그리고상기 광원에 연결되며, 상기 광원이 특정 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하도록 제어하는 광원 제어부;를 포함하고,상기 수광부는 자외선 CCD 또는 가시광 CCD를 포함하고,상기 수광부에 결합되며 상기 자외선 CCD 또는 상기 가시광 CCD 중에서 선택하는 수광 제어부를 더 포함하고,상기 광원은 복수의 자외선 램프를 포함하며,상기 복수의 자외선 램프는 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 제1 자외선 램프, 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 제2 자외선 램프, 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 제3 자외선 램프를 포함하고,상기 복수의 자외선 램프는 바 형상을 가지며 일 방향을 따라 서로 나란하게 배열되는 자외선 검사 장치
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미리 정해진 파장 범위 내의 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하는 광원;상기 광원에서 조사된 상기 자외선을 집광하는 집광부;상기 집광부로부터 전달된 상기 자외선을 대상물로 전달하거나, 상기 대상물로부터 반사된 자외선 또는 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는 빔 스플리터;상기 빔 스플리터를 통과한 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키는 투과 필터; 상기 투과 필터를 통과한 상기 자외선 또는 형광된 빛을 수광하는 수광부;상기 투과 필터에 연결되며, 상기 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키도록 제어하는 투과 필터 제어부; 그리고상기 광원에 연결되며, 상기 광원이 특정 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하도록 제어하는 광원 제어부;를 포함하고,상기 수광부는 자외선 CCD 또는 가시광 CCD를 포함하고,상기 수광부에 결합되며 상기 자외선 CCD 또는 상기 가시광 CCD 중에서 선택하는 수광 제어부를 더 포함하고,상기 광원은 제1 자외선 LED 그룹, 제2 자외선 LED 그룹 및 제3 자외선 LED 그룹을 포함하며, 상기 제1 자외선 LED 그룹은 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치되고, 상기 제2 자외선 LED 그룹은 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치되며, 상기 제3 자외선 LED 그룹은 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치되고,상기 제1 자외선 LED 그룹, 제2 자외선 LED 그룹 및 제3 자외선 LED 그룹은 서로 동일한 면적을 이루며, 원판 상에 배열되는 자외선 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원은 상기 자외선의 조도를 조절할 수 있는, 자외선 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 반사된 자외선을 투과시키는, 자외선 검사 장치
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제 10 항에 있어서,상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 자외선을 수광하는, 자외선 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는, 자외선 검사 장치
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제 13 항에 있어서,상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 형광된 빛을 수광하는, 자외선 검사 장치
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