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단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 제1 측 및 제2 측 본체; 및유기발광 다이오드 발광 영역의 픽셀의 경우 픽셀 영역이 미리 패터닝되어 있는 유연성 기판을 이용하고, 유연성 컬러 필터의 경우 블랙 매트릭스가 미리 형성되어 있는 유연성 기판 상에 제작되며, 하부 측면에 직사각형 형상의 복수개의 단차 패턴을 구비하고, 상기 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 단차 패턴을 통해 상기 헤드 립 방향으로 토출시키는 다이 심; 을 구비하고,상기 제1 측 본체 또는 상기 제2 측 본체의 내부면에는 상기 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되어, 상기 코팅액을 폭 방향으로 분배시키는 것을 특징으로 하는, 다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드
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제 1 항에 있어서,상기 복수개의 단차 패턴은상기 캐비티 하부에 형성된 소정의 개구 영역과 중첩되는 것을 특징으로 하는, 다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드
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(a) 유기발광 다이오드 발광 영역의 픽셀의 경우 픽셀 영역이 미리 패터닝되어 있는 유연성 기판을 이용하고, 유연성 컬러 필터의 경우 블랙 매트릭스가 미리 형성되어 있는 유연성 기판 상에 제작되는 다이 심 플레이트를 세척하는 단계;(b) 상기 세척된 다이 심 플레이트 상부면에 무기 박막 또는 금속막을 형성하는 단계; (c) 상기 무기 박막 또는 금속막 상부에 포토 레지스터를 코팅 및 건조하여 포토 레지스터 막을 형성하는 단계; (d) 상기 포토 레지스터 막에 형성될 단차 패턴이 패터닝된 포토 마스크를 생성하는 단계; (e) 상기 생성된 포토 마스크를 상기 포토 레지스터 막 상부면에 적층하고 자외선에 노광하여 상기 단차 패턴을 형성하는 단계; (f) 상기 노광된 포토 레지스터 막을 제거하는 단계;(g) 상기 무기 박막 또는 금속막 중 단차 패턴 영역을 식각하는 단계; 및(h) 상기 포토 레지스터 막 중 잔여 부분을 제거하여 상기 단차 패턴을 복수개 구비하는 다이 심을 제조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드용 다이 심 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 (b) 단계는 증착, 코팅 및 도금 중 어느 하나의 방식으로 상기 무기 박막 또는 금속막을 형성하는 것을 특징으로 하는, 다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드용 다이 심 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 단차 패턴은 코팅액이 토출되는 음각 영역으로서, 폭이 유기발광 다이오드 발광 영역의 픽셀 또는 컬러 필터의 폭에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는,다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드용 다이 심 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 단차 패턴은 코팅액의 점도, 용질 및 토출량에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는,다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드용 다이 심 제조 방법
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(a) 유기발광 다이오드 발광 영역의 픽셀의 경우 픽셀 영역이 미리 패터닝되어 있는 유연성 기판을 이용하고, 유연성 컬러 필터의 경우 블랙 매트릭스가 미리 형성되어 있는 유연성 기판 상에 제작되는 다이 심 플레이트를 세척하는 단계;(b) 상기 세척된 다이 심 플레이트 상부면에 무기 박막 또는 금속막을 형성하는 단계; (c) 상기 무기 박막 또는 금속막 상부에 포토 레지스터를 코팅 및 건조하여 포토 레지스터 막을 형성하는 단계; (d) 상기 포토 레지스터 막에 형성될 단차 패턴이 패터닝된 포토 마스크를 생성하는 단계; (e) 상기 생성된 포토 마스크를 상기 포토 레지스터 막 상부면에 적층하고 자외선에 노광하여 상기 단차 패턴을 형성하는 단계; (f) 상기 노광된 포토 레지스터 막을 제거하는 단계;(g) 상기 무기 박막 또는 금속막 중 단차 패턴 영역을 식각하는 단계; 및(h) 상기 포토 레지스터 막 중 잔여 부분을 제거하여 상기 단차 패턴을 복수개 구비하는 다이 심을 제조하는 단계; 및(i) 상기 제조된 다이 심을 제1 측 본체와 제2 측 본체 사이에 삽입하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드 제조 방법
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(a) 다이 심 플레이트를 세척하는 단계;(b) 다이 심에 형성될 단차 패턴 외 영역이 패터닝된 스크린 프린팅용 마스크를 생성하는 단계; (c) 상기 생성된 스크린 프린팅용 마스크를 상기 다이 심 플레이트 상부면에 적층하고 메탈 페이스트로 스크린 프린팅하는 단계; (d) 상기 단차 패턴 외 영역을 패터닝하여 패턴층을 형성하는 단계; 및(e) 상기 형성된 패턴층을 경화하여 상기 단차 패턴을 복수개 구비하는 상기 다이 심을 제조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드용 다이 심 제조 방법
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(a) 다이 심 플레이트를 세척하는 단계;(b) 다이 심에 형성될 단차 패턴 외 영역이 패터닝된 스크린 프린팅용 마스크를 생성하는 단계; (c) 상기 생성된 스크린 프린팅용 마스크를 상기 다이 심 플레이트 상부면에 적층하고 메탈 페이스트로 스크린 프린팅하는 단계; (d) 상기 단차 패턴 외 영역을 패터닝하여 패턴층을 형성하는 단계; (e) 상기 패턴층을 경화하여 상기 단차 패턴을 복수개 구비하는 상기 다이 심을 제조하는 단계; 및(h) 상기 제조된 다이 심을 제1 측 본체와 제2 측 본체 사이에 삽입하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다층 유기박막 코팅용 슬롯 다이 헤드 제조 방법
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