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중공형 관형 전도체; 및상기 중공형 관형 전도체 내부를 채워 밀봉하는 고리형 제1 유전체 윈도우 및 제2 유전체 윈도우를 포함하고,상기 제1 유전체 윈도우 및 상기 제2 유전체 윈도우는 이격되어 있는,저압 또는 고압 챔버 내에 RF(Radio Frequency) 에너지를 전달하는, 광대역 주파수 특성을 갖는 진공피드스루(feedthrough)로서,상기 진공피드스루는 상기 중공형 관형 전도체 내의 동축 막대형 전도체를 포함하고,상기 제1 유전체 윈도우 및 상기 제2 유전체 윈도우는 상기 동축 막대형 전도체의 외면으로부터 상기 중공형 관형 전도체 내면까지 연장되어 밀봉함을 특징으로 하고, 상기 중공형 관형 전도체의 내면에는 두 개의 플랜지홈을 포함하고,상기 동축 막대형 전도체의 외면에는 상기 플랜지홈에 대응하는 위치에 두 개의 환형홈을 포함하며,상기 제1 및 제2 유전체 윈도우는 각각 상기 플랜지홈과 환형홈에 끼워져 있으며, 상기 두 홈의 측벽과 상기 유전체 윈도우 면 사이에는 실링용 오링이 위치함을 특징으로 하는,광대역 주파수 특성을 갖는 진공피드스루(feedthrough)
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제1항에 있어서,상기 진공피드스루는 유전체 윈도우가 한 개 있는 경우에 비해 증가된 대역특성을 보임을 특징으로 하는,광대역 주파수 특성을 갖는 진공피드스루(feedthrough)
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제1항에 있어서,상기 진공피드스루는 유전체 윈도우가 한 개 있는 경우에 비해 감소된 RF 손실 특성을 보임을 특징으로 하는,광대역 주파수 특성을 갖는 진공피드스루(feedthrough)
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제1항에 있어서,상기 진공피드스루는 유전체 윈도우가 한 개 있는 경우에 비해 감소된 전계 강도 특성을 보임을 특징으로 하는,광대역 주파수 특성을 갖는 진공피드스루(feedthrough)
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제1항에 있어서,상기 진공피드스루는 유전체 윈도우가 한 개 있는 경우에 비해 산재되고 낮아진 온도 분포 특성을 보임을 특징으로 하는,광대역 주파수 특성을 갖는 진공피드스루(feedthrough)
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제1항에 있어서,상기 저압 또는 고압 챔버는 플라즈마 챔버이고,상기 진공피드스루는 상기 챔버 내 플라즈마 가열을 위해 RF 에너지를 전달하도록 구성되는,광대역 주파수 특성을 갖는 진공피드스루(feedthrough)
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