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제 1 유연 전극;상기 제 1 유연 전극에 대향 배치되는 제 2 유연 전극; 및제 1 유연 전극과 상기 제 2 유연 전극 사이에 연속된 단일막으로 배치되는 이온성 겔 타입의 유전층을 포함하며,상기 유전층은, 기공을 갖는 구조 형성 폴리머 및 상기 구조 형성 폴리머의 상기 기공 내에 트랩된 이온성 액체를 포함하며,상기 제 1 유연 전극 또는 상기 제 2 유연 전극에 압력을 인가시 상기 연속된 단일막 형태의 상기 유전층의 두께 변화에 따른 정전 용량의 변화를 감지하고,상기 구조 형성 폴리머의 중량에 대한 상기 이온성 액체의 중량의 비율이 0
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 유연 전극과 상기 제 2 유연 전극은 평면형으로 서로 대향 배치되는 고민감도 유연 압력 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 유연 전극과 제 2 유연 전극 중 어느 하나의 유연 전극은 코어를 형성하고, 다른 하나는 상기 코어를 둘러쌓는 동심으로 배치되는 실린더형인 고민감도 유연 압력 센서
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삭제
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 구조 형성 폴리머는, 폴리(비닐리덴 플루오라이드-공-헥사플루오로프로필렌)을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서
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7
청구항 1에 있어서,상기 이온성 액체는, 1-에틸-3-메틸이미다졸리움비스(트리플루오로메틸설포닐)아미드를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서
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8
청구항 1에 있어서,상기 이온성 액체는, 휘발성 성분을 함유하지 않는 고민감도 유연 압력 센서
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청구항 1에 있어서, 상기 유전층의 두께는 5 ㎛ 내지 10 ㎛인 고민감도 유연 압력 센서
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10
청구항 1에 있어서, 상기 유전층의 표면에는 3차원 돌기 구조체들의 어레이를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서
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11
청구항 10에 있어서,상기 3차원 돌기 구조체의 수직 단면은, 유전층의 주표면으로부터 수직 상부 방향으로 갈수록 폭이 좁아지고 하단부는 지지력을 확보할 수 있는 테이퍼 형상을 가지는 고민감도 유연 압력 센서
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12
청구항 11에 있어서,상기 3차원 돌기 구조체는, 원뿔, 타원뿔, 삼각뿔 및 사각뿔 중 어느 하나의 형상을 갖는 고민감도 유연 압력 센서
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13
청구항 11에 있어서,상기 3차원 돌기 구조체는, 사각뿔의 형상을 갖고 밑변의 길이가 0 ㎛를 초과하고 5 ㎛이하인 고민감도 유연 압력 센서
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14
청구항 13에 있어서,상기 유전층은,상기 구조 형성 폴리머의 중량에 대한 상기 이온성 액체의 중량의 비율이 0
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15
청구항 1에 있어서,상기 제 1 유연 전극 및 상기 제 2 유연 전극 중 적어도 어느 하나는,베이스 필름; 및상기 베이스 필름 상에 코팅된 도전성 박막을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서
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청구항 15에 있어서,상기 베이스 필름은, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리메틸메타크릴산 중 어느 하나의 재료를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서
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17
청구항 16에 있어서,상기 도전성 박막은, ITO, IZO, ZnO, 및 탄소 나노 튜브 중 선택된 1종 이상을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서
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제 1 유연 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 유연 전극 상에 이온성 겔 타입의 유전층을 연속된 단일막으로 형성하는 단계; 및상기 유전층 상에 제 2 유연 전극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 유전층은, 기공을 갖는 구조 형성 폴리머 및 상기 구조 형성 폴리머의 상기 기공 내에 트랩된 이온성 액체를 포함하며,상기 제 1 유연 전극 또는 상기 제 2 유연 전극에 압력을 인가시 상기 연속된 단일막 형태의 상기 유전층의 두께 변화에 따른 정전 용량의 변화를 감지하고,상기 구조 형성 폴리머의 중량에 대한 상기 이온성 액체의 중량의 비율이 0
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청구항 18에 있어서,상기 제 1 유연 전극을 형성하는 단계는,베이스 필름을 준비하는 단계; 및상기 베이스 필름 상에 도전성 박막을 코팅하는 단계를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법
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청구항 19에 있어서,상기 베이스 필름은, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리메틸메타크릴산 중 어느 하나의 재질을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법
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청구항 19에 있어서,상기 도전성 박막은, ITO, IZO, ZnO, 탄소 나노 튜브 중 선택된 1종 이상을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법
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청구항 18에 있어서,상기 유전층을 형성하는 단계는,실리콘 몰드와 이온성 혼합 용액을 준비하는 단계;상기 이온성 혼합 용액을 실리콘 몰드에 도포하는 단계;상기 이온성 혼합 용액을 열처리로 겔화하여 유전체를 생성하는 단계 및상기 유전체를 실리콘 몰드에서 분리시키는 단계를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법
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청구항 22에 있어서,상기 유전체를 생성하는 단계 이후, 상기 유전체를 압력 센서의 크기에 맞추어 커팅하는 단계 및상기 유전체를 실리콘 몰드에서 분리시키는 단계 이후, 상기 분리된 유전체를 제 1 및 2 유연 전극의 사이에 위치시켜 유전층을 형성하는 단계를 더 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법
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청구항 22에 있어서,상기 실리콘 몰드는 이방성 습식 식각공정으로 식각 홈이 형성되는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법
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청구항 24에 있어서,상기 식각 홈은, 원뿔, 타원뿔, 삼각뿔 및 사각뿔 중 어느 하나의 형상을 갖는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법
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