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도핑된 유기물 박막을 포함한 트랜지스터

  • 기술번호 : KST2018008561
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예는 기판; 상기 기판 상에 형성된 게이트 전극; 상기 게이트 전극을 덮도록 형성된 절연체층; 상기 절연체층 상에 형성된 반도체층; 상기 반도체층 상에 형성된 유기물층; 및 상기 유기물층 상에 형성되며, 서로 이격된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터이다. 다른 실시예는 상기 소스 전극과 반도체층 및 상기 드레인 전극과 반도체층 사이에 배치된 유기물층은 도핑된 유기물층이다.
Int. CL H01L 51/05 (2006.01.01) H01L 51/10 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0562(2013.01) H01L 51/0562(2013.01) H01L 51/0562(2013.01) H01L 51/0562(2013.01) H01L 51/0562(2013.01) H01L 51/0562(2013.01) H01L 51/0562(2013.01) H01L 51/0562(2013.01)
출원번호/일자 1020160172737 (2016.12.16)
출원인 중앙대학교 산학협력단, 서강대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0070773 (2018.06.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.16)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
2 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김명길 대한민국 서울특별시 강남구
2 최병두 대한민국 서울특별시 송파구
3 김충익 대한민국 서울특별시 동작구
4 권구현 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
2 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-1238002-30
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0052269-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0248604-87
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0546637-48
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0546638-94
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0715097-59
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-1154530-57
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.11.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-1154531-03
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0855242-23
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판 상에 형성된 게이트 전극; 상기 게이트 전극을 덮도록 형성된 절연체층; 상기 절연체층 상에 형성된 반도체층; 상기 반도체층 상에 형성되며 상기 반도체층이 외부에 노출되지 않도록 상기 반도체층을 덮어서 보호하는 유기물층; 및 상기 유기물층 상에 형성되며, 서로 이격된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고,상기 유기물층은 3개의 부분으로 나뉘며, 상기 소스 전극과 반도체층 및 상기 드레인 전극과 반도체층 사이에 배치된 유기물층은 도핑된 유기물층이고,상기 도핑된 유기물층은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극으로부터 상기 반도체층으로 이동하는 금속 이온의 확산을 방지하고, 나머지 유기물층은 상기 반도체층이 외부 기체와 접촉하는 것을 방지하는,박막 트랜지스터
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 유기물층의 유기물은, 공액성 전자구조를 가지는 유기물을 기본 골격으로 하고, 상기 골격에 알킬그룹이 결합된 화합물인, 박막 트랜지스터
4 4
제1항에 있어서, 상기 유기물층의 유기물은 탄소반도체 계열 유기물(C60, PCBM, graphene, 및 graphene oxide 중 적어도 하나), 안트라싸이오펜 계열(ADT, DHADT, DDADT, TESADT, 및 DIF-TESADT 중 적어도 하나), fused-ring 싸이오펜 계열(P3HT, a6T, DH-6T do-P2TP, 및 BP2T 중 적어도 하나), 다중 페닐링 계열(테트라센, 펜타센, 헥사센, 및 TIPS-펜타센 중 적어도 하나), NDI 계열(N2200, NDI8-CN, 및 PNDISS 적어도 하나), PDI 계열(PDI-8CN2, POL-PDI, 및 P(PDI2DD-DTT) 적어도 하나), BTBT 계열(C8-BTBT 및 DMeO-BTBT 적어도 하나), ADI 계열(ADI8 및 ADI8-CN 중 적어도 하나), 카바졸 계열(PCB 및 PCDTBT 중 적어도 하나), DPP 계열(Diphenyl-DPPs, dithienyl-DPP, Diaryl-DPPs, BBTDPP1, 및 PDQT 중 적어도 하나), 프탈로시아닌 계열(CuPc, LuPc2, 및 SnCl2Pc 중 적어도 하나) 중 적어도 하나를 포함하는, 박막 트랜지스터
5 5
제1항에 있어서, 상기 도핑된 유기물의 도펀트는 n형 도펀트 또는 p형 도펀트이며, 상기 n형 도펀트는 알칼리메탈 할라이드(MX: M = Li, Na, K, Rb, Cs; X = F, Cl, Br, I), 1,3-Dimethyl-2-phenyl-2,3-dihydro-1H-benzoimidazole(DMBI) 유도체, 아민 고분자 (polyethyleneimine) 유도체 중 적어도 하나를 포함하며, 상기 p형 도펀트는 전이금속 산화물(MoO3, WO3, V2O5, 및 NiO 중 적어도 하나), TCNQ(F4TCNQ) 계열, CuPc (F16-CuPc) 중 적어도 하나를 포함하는, 박막 트랜지스터
6 6
기판; 상기 기판 상에 형성된 반도체층; 상기 반도체층 상에 배치되며, 서로 이격된 소스 전극 및 드레인 전극; 상기 소스 전극과 상기 반도체층 사이 및 상기 드레인 전극과 상기 반도체층 사이에 각각 배치되며 상기 반도체층이 외부에 노출되지 않도록 상기 반도체층을 덮어서 보호하는 유기물층; 상기 소스 전극, 드레인 전극 및 반도체층으로부터 절연된 게이트 전극; 및 상기 게이트 전극과 상기 소스 전극, 드레인 전극 및 반도체층을 절연시키는 절연체층을 포함하고,상기 유기물층은 3개의 부분으로 나뉘며, 상기 소스 전극과 반도체층 및 상기 드레인 전극과 반도체층 사이에 배치된 유기물층은 도핑된 유기물층이고,상기 도핑된 유기물층은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극으로부터 상기 반도체층으로 이동하는 금속 이온의 확산을 방지하고, 나머지 유기물층은 상기 반도체층이 외부 기체와 접촉하는 것을 방지하는,박막 트랜지스터
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서, 상기 절연체층과 상기 반도체층 사이에, 상기 유기물층 사이에 추가로 유기물층이 형성된, 박막 트랜지스터
9 9
제6항에 있어서, 상기 유기물층의 유기물은, 공액성 전자구조를 가지는 유기물을 기본 골격으로 하고, 상기 골격에 알킬그룹이 결합된 화합물인, 박막 트랜지스터
10 10
제6항에 있어서, 상기 유기물층은 탄소반도체 계열 유기물(C60, PCBM, graphene, 및 graphene oxide 중 적어도 하나), 안트라싸이오펜 계열(ADT, DHADT, DDADT, TESADT, 및 DIF-TESADT 중 적어도 하나), fused-ring 싸이오펜 계열(P3HT, a6T, DH-6T do-P2TP, 및 BP2T 중 적어도 하나), 다중 페닐링 계열(테트라센, 펜타센, 헥사센, 및 TIPS-펜타센 중 적어도 하나), NDI 계열(N2200, NDI8-CN, 및 PNDISS 적어도 하나), PDI 계열(PDI-8CN2, POL-PDI, 및 P(PDI2DD-DTT) 적어도 하나), BTBT 계열(C8-BTBT 및 DMeO-BTBT 적어도 하나), ADI 계열(ADI8 및 ADI8-CN 중 적어도 하나), 카바졸 계열(PCB 및 PCDTBT 중 적어도 하나), DPP 계열(Diphenyl-DPPs, dithienyl-DPP, Diaryl-DPPs, BBTDPP1, 및 PDQT 중 적어도 하나), 프탈로시아닌 계열(CuPc, LuPc2, 및 SnCl2Pc 중 적어도 하나) 중 적어도 하나를 포함하는, 박막 트랜지스터
11 11
제6항에 있어서, 상기 도핑된 유기물의 도펀트는 n형 도펀트 또는 p형 도펀트이며, 상기 n형 도펀트는 알칼리메탈 할라이드(MX: M = Li, Na, K, Rb, Cs; X = F, Cl, Br, I), 1,3-Dimethyl-2-phenyl-2,3-dihydro-1H-benzoimidazole(DMBI) 유도체, 아민 고분자 (polyethyleneimine) 유도체 중 적어도 하나를 포함하며, 상기 p형 도펀트는 전이금속 산화물(MoO3, WO3, V2O5, 및 NiO 중 적어도 하나), TCNQ(F4TCNQ) 계열, CuPc (F16-CuPc) 중 적어도 하나를 포함하는, 박막 트랜지스터
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15 15
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16 16
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17 17
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19 19
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20 20
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