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물체 평면의 촬상 대상으로부터 입사되는 빛을 발산시키는 제1 렌즈; 상기 제1 렌즈로부터 입사되는 빛을 수렴시키거나 발산시키며, 상기 물체 평면의 촬상 대상을 제1 이미지 평면의 전체 이미지로 전환하는 제2 렌즈; 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈의 제1 중심축에서 이격되어 배치되고 제2 중심축을 가지는 제3 렌즈; 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈의 제1 중심축에서 상기 제1 이미지 평면에 배치되고, 상기 제1 이미지 평면의 상기 전체 이미지를 매트릭스 형태의 복수의 분할 이미지로 분할하고, 상기 분할 이미지 중에서 하나를 선택하여 반사시키는 메인 2-자유도 미러; 상기 제3 렌즈의 제2 중심축에 배치되고 상기 메인 2-자유도 미러에서 반사된 분할 이미지를 그 중심으로 제공받아 상기 제3 렌즈에 제공하는 보조 2-자유도 미러; 및 상기 메인 2-자유도 미러 및 상기 보조 2-자유도 미러가 반사시킨 분할 이미지를 상기 제3 렌즈의 제2 이미지 평면에 확대하여 생성된 확대 분할이미지를 촬상하는 이미지 센서 어레이를 포함하고, 상기 메인 2-자유도 미러와 상기 보조 2-자유도 미러 사이에 구경조리개가 배치되는 것을 특징으로 하는 멀티스케일 이미징 시스템
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제1항에 있어서, 상기 이미지 센서 어레이는 복수 개이고, 상기 이미지 센서 어레이는 상기 제3 렌즈의 제2 이미지 평면에서 배치되고, 상기 분할 이미지를 스캐닝함에 따라, 상기 확대 분할이미지는 순차적으로 상기 이미지 센서 어레이에 촬상되는 것을 특징으로 하는 멀티스케일 이미징 시스템
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 제3 렌즈는 망원렌즈 형의 확대렌즈모듈인 것을 특징으로 하는 멀티스케일 이미징 시스템
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제1항에 있어서, 상기 보조 2-자유도 미러를 상기 제2 중심축 방향으로 이동시키는 선형 운동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티스케일 이미징 시스템
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제1 렌즈를 이용하여 물체 평면의 촬상 대상으로부터 입사되는 빛을 발산시키는 단계; 제2 렌즈를 이용하여 상기 제1 렌즈로부터 입사되는 빛을 수렴시키거나 발산시키며, 상기 물체 평면의 촬상 대상을 제1 이미지 평면의 전체 이미지로 전환하는 단계; 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈의 제1 중심축에서 상기 제1 이미지 평면에 배치된 메인 2-자유도 미러를 이용하여 상기 제1 이미지 평면의 전체 이미지를 매트릭스 형태의 복수의 분할 이미지로 분할하고, 상기 분할 이미지 중에서 하나를 선택하여 반사시키는 단계; 제3 렌즈의 제2 중심축에 배치된 보조 2-자유도 미러를 이용하여 상기 메인 2-자유도 미러에서 반사된 분할 이미지를 그 중심에서 제공받아 상기 제3 렌즈에 제공하는 단계; 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈의 제1 중심축에서 이격되어 배치되고 제2 중심축을 가지는 제3 렌즈를 이용하여 상기 메인 2-자유도 미러 및 상기 보조 2-자유도 미러가 반사시킨 분할 이미지를 상기 제3 렌즈의 제2 이미지 평면에 확대하여 확대 분할이미지를 생성하는 단계; 및 이미지 센서 어레이를 이용하여 상기 확대 분할이미지를 촬상하는 단계를 포함하고, 상기 메인 2-자유도 미러와 상기 보조 2-자유도 미러 사이에 구경조리개가 배치되는 것을 특징으로 하는 제1항의 멀티스케일 이미징 시스템을 사용한 촬상 방법
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