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신축성기판; 및상기 신축성기판 상에 형성된 제1압력센서전극 및 상기 제1압력센서전극과 전기적 특성이 상이한 제2압력센서전극을 포함하는 정전용량형 압력센서전극층;을 포함하는 정전용량형 압력센서
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청구항 1에 있어서,상기 신축성기판은, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane)를 포함하는 정전용량형 압력센서
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청구항 1에 있어서,상기 정전용량형 압력센서전극층은 전도성 나노와이어를 포함하는 정전용량형 압력센서
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청구항 1에 있어서,상기 신축성기판 및 상기 정전용량형 압력센서전극층 사이에 신축성접착층;을 더 포함하는 정전용량형 압력센서
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청구항 4에 있어서,상기 신축성접착층은 폴리우레탄 우레아(polyurethane urea)를 포함하는 정전용량형 압력센서
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청구항 1에 있어서,상기 제1압력센서전극 및 상기 제2압력센서전극의 거리 변화에 따른 정전용량 변화에 기초하여 압력을 측정하는 정전용량형 압력센서
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청구항 1에 있어서,25% 내지 35%의 길이변화 후에도 감도변화가 발생하지 않는 것을 특징으로 하는 정전용량형 압력센서
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제1제조기판 상에 신축성기판을 형성하는 신축성기판 형성단계;상기 신축성기판 상에 신축성접착층을 형성하는 신축성접착층 형성단계;제2제조기판 상에 전도성 나노와이어층을 형성하는 전도성 나노와이어층 형성단계;상기 전도성 나노와이어층을 패터닝하여 제1압력센서전극 및 제2압력센서전극을 형성하는 정전용량형 압력센서전극층 형성단계; 상기 신축성접착층 형성단계에서 획득한 제1적층체 및 상기 정전용량형 압력센서전극층 형성단계에서 획득한 제2적층체를 합지하는 단계; 및 상기 제1제조기판 및 상기 제2제조기판을 제거하는 단계;를 포함하는 정전용량형 압력센서 제조방법
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청구항 8에 있어서, 상기 전도성 나노와이어층 형성단계는,용매에 상기 전도성 나노와이어를 분산시킨 용액을 제2제조기판 상에 도포하고, 상기 용매를 제거하여 수행되는 것인 정전용량형 압력센서 제조방법
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청구항 8에 있어서,제조된 정전용량형 압력센서에 광조사하여 상기 전도성 나노와이어의 신축성접착층에의 접착력을 증가시키는 광조사단계;를 더 포함하는 정전용량형 압력센서 제조방법
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신축성기판 형성단계; 및 상기 신축성기판 상에 형성된 제1압력센서전극 및 상기 제1압력센서전극과 전기적 특성이 상이한 제2압력센서전극을 포함하는 정전용량형 압력센서전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 정전용량형 압력센서 제조방법
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폴리디메틸실록산 기판;폴리우레탄 우레아층; 및상기 폴리우레탄 우레아층 상에 위치하는 은나노와이어 패턴층;을 포함하는 신축성있는 유연투명전극
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