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수소 검출 센서에 있어서,기판;상기 기판 상에 형성되는 적어도 하나의 접착층; 및상기 접착층 상에 형성되되 팔라듐 성분을 포함하는 Pd층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면, 상기 수소 검출 센서의 곡률이 변화하고, 상기 곡률 변화를 통하여 수소 검출 여부를 시각적으로 확인하도록 지원하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제2항에 있어서,상기 수소 검출 센서는 수소의 농도가 높아짐에 따라 곡률 변화의 정도가 달라지는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제2항에 있어서,상기 Pd층이 상기 수소 환경에 반응하여 팽창함으로써, 상기 수소 검출 센서의 곡률이 변화되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제4항에 있어서,상기 Pd층이 상기 수소 환경에 반응하여 PdHX가 생성됨으로써 상기 Pd층이 팽창하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 수소 검출 센서는 캔틸레버 형태인 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 플렉시블한 성질을 가지며, 상기 기판의 탄성계수는 4 Gpa 이하인 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제7항에 있어서,상기 기판은 폴리머 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제8항에 있어서,상기 기판은 PI, PP, PET, PS, PE 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 접착층은 제1 접착층; 및 제2 접착층으로 형성되되,제1 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하고,제2 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하되, 제1 접착층과는 다른 금속으로 선택되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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12
제1항에 있어서,상기 Pd층의 두께는 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면, 상기 수소 검출 센서의 곡률이 변화하였다가, 수소가 없는 환경이 되면 원래의 상태로 회복되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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