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압전재료를 이용한 압력센서의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018008843
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예에 따른 압전재료를 이용한 압력센서의 제조방법은, 3D 프린팅을 통해 절연소재의 제1 베이스기판을 제조하는 단계, 상기 제1 베이스기판상에 일방향의 패턴을 갖도록 압전재료를 3D 프린팅에의해 토출하여 상기 제1 베이스기판상에 상기 제1 압전전극패턴을 형성하는 단계, 상기 제1 압전전극패턴을 포함한 상기 제1 베이스기판을 커버하도록 3D 프린팅을 통해 절연층을 제작 및 적층하는 단계, 상기 절연층상에 상기 제1 압전전극패턴이 형성된 일방향에 교차하는 타방향으로 패턴이 형성되도록 압전재료를 3D 프린팅으로 토출하여 상기 절연층상에 제2 압전전극패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제2 압전전극패턴 및 상기 절연층을 커버하도록 3D 프린팅을 통해 제조하여 상기 제2 압전전극패턴 및 상기 절연층상에 절연소재의 제2 베이스기판을 적층하는 단계;를 포함한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 3D 프린팅을 이용하여 압전재료를 통해 압력센서를 제조함으로써 보다 간단한 공정을 통해 생산 리드타임을 줄이고, 공정신뢰성을 효과적으로 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 41/27 (2013.01.01) G01L 1/16 (2006.01.01) H01L 41/29 (2013.01.01) H01L 41/25 (2013.01.01)
CPC H01L 41/27(2013.01) H01L 41/27(2013.01) H01L 41/27(2013.01) H01L 41/27(2013.01)
출원번호/일자 1020160178278 (2016.12.23)
출원인 한국전자기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0074315 (2018.07.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.07)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤선홍 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 박현호 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
3 최은주 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
4 최주환 대한민국 전라북도 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 청운특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층 (서초동, 장생빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-1269395-73
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-1279317-12
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0017942-30
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0120266-93
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0342709-14
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0671237-46
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0671238-92
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0773261-48
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.12.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-1305581-21
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-1305580-86
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0851931-38
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번호 청구항
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3D 프린팅을 통해 절연소재의 제1 베이스기판을 제조하는 단계;상기 제1 베이스기판상에 일방향의 패턴을 갖도록 압전재료를 3D 프린팅에의해 토출하여 상기 제1 베이스기판상에 상기 제1 압전전극패턴을 형성하는 단계;상기 제1 압전전극패턴을 포함한 상기 제1 베이스기판을 커버하도록 3D 프린팅을 통해 절연층을 제작 및 적층하는 단계;상기 절연층상에 상기 제1 압전전극패턴이 형성된 일방향에 교차하는 타방향으로 패턴이 형성되도록 압전재료를 3D 프린팅으로 토출하여 상기 절연층상에 제2 압전전극패턴을 형성하는 단계; 및상기 제2 압전전극패턴 및 상기 절연층을 커버하도록 3D 프린팅을 통해 제조하여 상기 제2 압전전극패턴 및 상기 절연층상에 절연소재의 제2 베이스기판을 적층하는 단계;를 포함하는 압전재료를 이용한 압력센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제1 베이스기판상에 상기 제1 압전전극패턴을 형성하는 단계; 및상기 절연층상에 제2 압전전극패턴을 형성하는 단계는, 각각 토출되어 제1 베이스기판 및 상기 절연층상에 상기 제1 압전전극패턴 및 상기 제2 압전전극패턴이 형성되는 과정에서 패터닝되는 동시에 경화되는 단계를 더 포함하는 압전재료를 이용한 압력센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,3D 프린팅을 통해 제1 베이스기판을 제조하는 단계는, 상기 제1 베이스기판의 3차원 형상을 모델링하는 단계; 및상기 제1 베이스기판을 형성하는 절연물질을 통해 3차원 형상의 제작 및 경화되는 단계;를 더 포함하는 압전재료를 이용한 압력센서의 제조방법
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청구항 3에 있어서, 상기 제2 압전전극패턴 및 상기 절연층상에 제2 베이스기판을 3D 프린팅을 통해 제조하여 적층하는 단계는, 상기 제2 베이스기판의 3차원 형상을 모델링하는 단계;상기 제2 베이스기판을 형성하는 절연물질을 통해 3차원 형상으로 제작 및 경화시키는 단계; 및상기 제2 베이스기판을 상기 제2 압전전극패턴을 포함한 상기 절연층 상에 적층하는 단계를 포함하는 압전재료를 이용한 압력센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래부 전자부품연구원 미래부기타사업 [EZBaro]3D프린팅 기반 탄소 융복합 유연소재 공정플랫폼 기술개발