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테이블에 설치된 설비의 진동을 제어하기 위한 방진장치로서,베이스와,상기 베이스에 설치되는 공기 스프링과,상기 공기 스프링의 내부에 설치되는 댐퍼와,상기 댐퍼의 상부가 연결되고 상기 테이블에 고정되는 지지대를 포함하여 이루어지며,상기 댐퍼의 하부는 상기 베이스에 힌지운동가능하게 설치되고, 상기 댐퍼의 상부는 상기 지지대에 상방으로 경사지도록 힌지운동가능하게 설치되며,상기 지지대는,상기 댐퍼가 연결되는 슬라이더부와,상기 슬라이더부를 수용하기 위한 슬라이더 삽입홈이 형성된 하부 지지대와,상기 슬라이더 삽입홈을 덮도록 상기 하부 지지대가 고정되는 상부 지지대로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 1 에 있어서,상기 슬라이더 삽입홈은,상기 하부 지지대의 상면에서 하방으로 깊이를 가지며 평면방향으로 일정한 폭을 가지도록 연장되어 형성되는 슬라이더 홈과, 상기 슬라이더 홈의 폭보다 좁은 폭으로 하방으로 연장되며 상기 하부 지지대의 저면을 관통하여 형성되는 연결부 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 3 에 있어서,상기 슬라이더부는,상기 슬라이더 홈에 삽입되도록 이에 대응하는 형상을 가지는 슬라이더와,상기 슬라이더의 하방으로 연장되어 형성되며 상기 댐퍼의 로드부와 연결되는 연결홈을 구비하는 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 4 에 있어서,상기 슬라이더 홈의 상면 및 상기 슬라이더부의 하면의 어느 일방에는 돌출부가 형성되고 타방에는 이에 대응하는 형상을 가지는 수용홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 5 에 있어서,상기 하부 지지대의 상면에는 상기 슬라이더 홈의 둘레에는 반원 단면의 실링 홈이 형성되고,상기 상부 지지대의 하면에도 상기 실링홈과 동일한 크기 및 형상의 반원 단면의 실링 홈이 형성되며,상기 양 실링 홈 사이에 실링부재가 삽입되는 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 1 에 있어서,상기 공기 스프링과 상기 댐퍼를 상기 테이블의 각 모서리마다 형성되는 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 7 에 있어서,상기 댐퍼가 상방으로 경사지는 방향은 상기 테이블의 중심을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 1 에 있어서,상기 댐퍼는 자기 유체 댐퍼인 것을 특징으로 하는 방진장치
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청구항 9 에 있어서,상기 공기 스프링의 외측 또는 내측에는 외부로부터 자기장이 상기 자기 유체 댐퍼에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 상기 자기 유체 댐퍼를 둘러싸도록 자기장 차단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방진장치
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