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나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2018009086
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 방법 및 장치로서, 원통금형에 전자빔 감광제를 회전-드랍 캐스팅 방법으로 원하는 유효 영역(원통금형 면적 양끝 부분 10%를 제외한 중앙부 80%)내에 코팅하여 두께 및 균일도를 제어할 수 있는 기술이다.
Int. CL G03F 7/16 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 9/00 (2006.01.01) G03F 7/26 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01)
출원번호/일자 1020160179551 (2016.12.26)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0075334 (2018.07.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정명영 대한민국 부산광역시 금정구
2 이정민 대한민국 울산광역시 울주군
3 장민혁 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-1276729-94
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1
나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 방법에 있어서,원통금형에 전자빔 감광제를 회전-드랍 캐스팅 방법으로 원하는 유효 영역(원통금형 면적 양끝 부분 10%를 제외한 중앙부 80%)내에 코팅하는 코팅단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 코팅단계는,감광제의 희석비율(점도(viscosity)), 액적의 분사속도, 원통금형의 회전속도, 감광제를 떨어뜨리는 위치 및 높이, 수평 방향으로 누어진 원통금형의 가로축에 대한 노즐의 이동속도, 원통금형의 기울기 등의 공정조건을 최적화하여 코팅하는 것을 특징으로 하는 나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 방법
3 3
나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 장치에 있어서,원통금형에 전자빔 감광제를 회전-드랍 캐스팅 방법으로 원하는 유효 영역(원통금형 면적 양끝 부분 10%를 제외한 중앙부 80%)내에 코팅하는 코팅부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 코팅부는,감광제의 희석비율(점도(viscosity)), 액적의 분사속도, 원통금형의 회전속도, 감광제를 떨어뜨리는 위치 및 높이, 수평 방향으로 누어진 원통금형의 가로축에 대한 노즐의 이동속도, 원통금형의 기울기 등의 공정조건을 최적화하여 코팅하는 것을 특징으로 하는 나노원통금형용 전자빔 감광제의 두께 및 균일도 제어 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 부산대학교 산학협력단 산학협력 선도대학(LINC) 육성사업(교육부) [LINC_5]나노 필름 대량 생산용 나노원통금형 핵심 공정 개발
2 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 선도연구센터 지원사업 초정밀 광 기계기술 연구센터