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가스 센서 측정용 희석가스 생성장치에 있어서, 측정가스 공급부로부터 질소 베이스의 측정가스를 제1 유량조절기를 통해 공급하는 측정가스 공급수단;순산소 공급부로부터 순산소를 제공받아 제2 유량조절기를 통해 기 설정된 양의 순산소를 공급하는 순산소 공급수단;순질소 공급부로부터의 순질소를 제3 유량조절기를 통해 공급하는 순질소 공급수단; 및제1 유입구를 통해 상기 순산소 및 상기 순질소를 공급받고, 상기 제1 유입구보다 작은 직경을 가지면서 수직 방향으로 형성되는 제2 유입구를 통해 상부로부터 수직으로 하강하는 방향으로 상기 측정가스를 공급받되, 상기 순산소가 기 설정된 양만큼 일정하게 공급되는 동안에 상기 측정가스, 상기 순질소, 및 상기 순산소를 혼합하는 혼합수단을 포함하며,상기 혼합수단에서 생성되는 희석가스의 생성조건에 기초하여 상기 제1 내지 제3 유량조절기를 제어하는 제어장치에 의해, 초기 단계에서 상기 측정가스 공급수단의 상기 제1 유량조절기와 상기 혼합수단을 연결하는 측정가스 공급관으로부터 분기된 배출관을 통해 상기 희석가스의 생성 조건에 포함된 목표 농도에 따라 결정되는 측정가스의 양과 동일한 양의 측정가스를 기 설정된 시간 동안 배출하도록 제어되는 것을 특징으로 하는 희석가스 생성장치
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제1 항에 있어서, 상기 측정가스 공급관은 상기 배출관과의 분기점을 기준으로 제1 분기 측정가스 공급관 및 제2 분기 측정가스 공급관으로 구분되어, 상기 제1 분기 측정가스 공급관은 상기 제1 유량조절기와 상기 배출관을 연결하며, 상기 제2 분기 측정가스 공급관은 상기 분기점과 상기 혼합수단을 연결하는 것을 특징으로 하는 희석가스 생성장치
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제3 항에 있어서,상기 배출관의 개폐를 조절하는 제1 밸브; 및상기 제2 분기 측정가스 공급관의 개폐를 조절하는 제2 밸브를 더 포함하며, 상기 제1 밸브가 개방되고 상기 제2 밸브가 폐쇄된 후 상기 기 설정된 시간이 경과한 이후에 상기 제1 밸브가 폐쇄되고 상기 제2 밸브를 개방하여 상기 측정가스, 순산소, 및 순질소를 혼합하되,상기 기 설정된 시간이 경과하는 동안 상기 순산소가 공급되는 양은 상기 기 설정된 양으로 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 희석가스 생성장치
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제4 항에 있어서, 상기 기 설정된 시간은 1분 이상 2시간 이하인 것을 특징으로 하는 희석가스 생성장치
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순산소가 일정하게 공급되는 동안 질소 베이스의 측정가스와 순질소를 혼합하여 희석가스를 생성하는 희석가스 생성장치;상기 희석가스의 생성 조건에 기초하여 상기 측정가스, 순산소, 및 순질소의 유량을 조절하는 유량조절기를 제어하는 제어장치;상기 희석가스 생성장치의 배출구에 연결되어 상기 생성된 희석가스의 농도를 측정하는 가스 센서; 및상기 희석가스 생성 조건과 상기 가스 센서의 측정 값에 기초하여 상기 가스 센서의 성능을 분석하는 분석장치를 포함하며,상기 희석가스 생성장치는, 측정가스 공급부로부터 질소 베이스의 측정가스를 제1 유량조절기를 통해 공급하는 측정가스 공급수단;순산소 공급부로부터 순산소를 제공받아 제2 유량조절기를 통해 기 설정된 양의 순산소를 공급하는 순산소 공급수단;순질소 공급부로부터의 순질소를 제3 유량조절기를 통해 공급하는 순질소 공급수단; 및제1 유입구를 통해 상기 순산소 및 상기 순질소를 공급받고, 상기 제1 유입구보다 작은 직경을 가지면서 수직 방향으로 형성되는 제2 유입구를 통해 상부로부터 수직으로 하강하는 방향으로 상기 측정가스를 공급받되, 상기 순산소가 기 설정된 양만큼 일정하게 공급되는 동안에 상기 측정가스, 상기 순질소, 및 상기 순산소를 혼합하는 혼합수단을 포함하며,상기 제어장치는 초기 단계에서 상기 측정가스 공급수단의 상기 제1 유량조절기와 상기 혼합수단을 연결하는 측정가스 공급관으로부터 분기된 배출관을 통해 상기 희석가스의 생성 조건에 포함된 목표 농도에 따라 결정되는 측정가스의 양과 동일한 양의 측정가스를 기 설정된 시간 동안 배출하도록 하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 검증 시스템
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제10 항에 있어서, 상기 가스 센서는 챔버 내에 구비되며, 상기 제어장치는 상기 가스 센서에 대한 테스트 조건에 따라 상기 챔버의 온도, 습도, 및 압력 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 검증 시스템
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제11 항에 있어서, 상기 가스 센서는플렉서블 가스 센서인 것을 특징으로 하는 가스 센서 검증 시스템
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제12 항에 있어서,상기 제어장치는, 상기 챔버 내의 온도, 습도, 및 압력 중 적어도 하나가 테스트 조건을 만족하는 경우, 상기 희석가스를 상기 배출구를 통해 제공하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 검증 시스템
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제12 항에 있어서,상기 챔버는 상기 플렉서블 가스 센서와 연결되어 상기 플렉서블 가스 센서의 기계적 변형을 수행하는 테스트 조건 조성수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 검증 시스템
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제14 항에 있어서,상기 테스트 조건 조성수단은 상기 플렉서블 가스 센서를 구부리거나, 비틀거나, 늘리는 동작을 기 설정된 횟수 수행하여 상기 기계적 변형을 수행하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 검증 시스템
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제14 항에 있어서,상기 순산소는 20~22%와 상기 순질소는 78~80%의 비율로 혼합되는 것을 특징으로 하는 가스 센서 검증 시스템
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