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마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2018009212
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시 형태에 따른 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치는, 기판과, 기판의 상부에 부착되며, 관통 영역이 형성된 마스크와, 기판의 하부에서 기판을 일정 온도로 가열하는 가열부를 포함하며, 마스크의 관통 영역에는 나노 현탁액이 도포될 수 있다.
Int. CL G03F 7/16 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) G03F 7/38 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 1/38 (2012.01.01) G03F 1/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01)
출원번호/일자 1020160180174 (2016.12.27)
출원인 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0076077 (2018.07.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송오성 대한민국 서울특별시 강남구
2 노윤영 대한민국 충청북도 청주시 상당구
3 김광배 대한민국 서울특별시 금천구
4 박태열 대한민국 충청북도 제천시 의

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-1280691-97
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.17 수리 (Accepted) 4-1-2017-5009116-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0034745-70
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0817234-43
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0062161-09
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0062160-53
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0367436-15
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0540535-07
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5191631-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판의 상부에 부착되며, 관통 영역이 형성된 마스크; 및상기 기판의 하부에서 상기 기판을 일정 온도로 가열하는 가열부를 포함하며,상기 마스크의 관통 영역에는 나노 현탁액이 도포되는 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 마스크의 관통 영역에 나노 현탁액이 도포되면, 마란고니 효과에 의한 대류에 의해 상기 관통 영역에 노출된 상기 기판의 면은 상기 나노 현탁액으로 균일하게 코팅되는 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 마스크의 형상은, 상부에서 바라볼 때 대칭 형상인 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 마스크는,유기 재료, 무기 재료, 금속 재료 및 이들을 포함하는 복합 재료로 만들어지는 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 기판은,무기물 또는 유기물을 포함하는 마스크를 이용한 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 나노 현탁액은,고분자를 포함하는 나노 현탁액의 코팅 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 일정 온도는,30도 내지 200도 사이의 값인 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 장치
8 8
기판 위에 관통 영역이 형성된 마스크를 부착하는 단계;상기 마스크의 관통 영역에 나노 현탁액을 도포하는 단계; 및상기 기판의 하부에서 상기 기판을 일정 온도로 가열하는 단계를 포함하며,상기 마스크의 관통 영역에 나노 현탁액이 도포되면, 마란고니 효과에 의한 대류에 의해 상기 관통 영역에 노출된 상기 기판의 면은 상기 나노 현탁액으로 균일하게 코팅되는 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 마스크의 형상은, 상부에서 바라볼 때 대칭 형상인 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 방법
10 10
제8항에 있어서,상기 일정 온도는,30도 내지 200도 사이의 값인 마스크를 이용한 나노 현탁액의 코팅 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.