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산화아연 습도센서 소자 제조방법

  • 기술번호 : KST2018009219
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 간단한 공정으로 센싱 감도가 우수하고 접합력, 내구성 등 신뢰도가 우수한 습도센서 소자를 제조하는 본 발명의 방법은 아래와 같은 단계로 이루어진다.기판 위에 서로 이격된 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴 위에 전극을 형성하는 단계; 상기 전극 위에 아연층을 형성하는 단계; 및 산소 함유 분위기 중에서 열처리하여 상기 아연을 산화아연으로 변환시키면서 나노와이어로 성장시킴으로써, 상기 이격된 각 패턴 상의 산화아연 나노와이어가 서로 연결되는 단계.
Int. CL G01N 27/327 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01)
CPC G01N 27/3278(2013.01) G01N 27/3278(2013.01)
출원번호/일자 1020160179471 (2016.12.26)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0075782 (2018.07.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유봉영 대한민국 경기 성남시 분당구
2 박수빈 대한민국 경기 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한)유일하이스트 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 옥산빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-1276153-06
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-1134256-48
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0059578-77
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0303401-40
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0621392-40
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0621405-56
8 등록결정서
Decision to grant
2018.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0625248-13
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-1169305-31
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판 위에 서로 이격된 패턴을 형성하는 단계;상기 패턴 위에 전극을 형성하는 단계;상기 전극 위에 아연층을 형성하는 단계; 및산소 함유 분위기 중에서 열처리하여 상기 아연을 산화아연으로 변환시키면서 나노와이어로 성장시킴으로써, 상기 이격된 각 패턴 상의 아연층이 산화됨과 동시에 산화아연 나노와이어 형태로 성장하여 인접한 다른 패턴 상의 산화아연 나노와이어와 셀프 브리징되어 서로 연결되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 습도센서 소자 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 아연이 상기 전극 위에 습식 전해증착에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 습도센서 소자 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 열처리가 산소를 함유하는 분위기 중에서 아연의 녹는점 이상 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 습도센서 소자 제조방법
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청구항 3에 있어서, 상기 열처리가 600℃에서 4시간 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 습도센서 소자 제조방법
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청구항 3에 있어서, 상기 열처리가 O2 21%, N2 79% 조성의 가스를 1L/min으로 유동시켜주는 조건에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 습도센서 소자 제조방법
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 전극이 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 습도센서 소자 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 기판이 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 습도센서 소자 제조방법
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1 과학기술정보통신부(2017Y) (재)한국연구재단 이공분야기초연구사업/선도연구센터지원사업/공학분야 (ERC) 건설구조물 내구성 혁신 연구센터