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가공물 거치부와 스테이지 사이에 구비되는 능동 보정 모듈에 있어서,상기 능동 보정 모듈은,자력에 의해 길이 변위가 발생하는 자기변형소자를 포함하는 자기변형소자 액추에이터;MR 유체의 점도 변화를 통해 MR 샤프트의 감쇠력이 가변되는 MR 댐퍼; 및상기 가공물 거치부에 연결되는 링크를 포함하며,상기 자기변형소자 액추에이터와 상기 MR 댐퍼는, 상기 링크를 통해 서로 병렬 연결되어 가공물의 위치 보정 및 채터를 감쇄시키고,상기 자기변형소자 액추에이터는, 상기 링크를 통해 상기 MR 댐퍼의 댐핑을 보정하는, 자기변형소자 액추에이터와 MR 댐퍼가 병렬 구조를 갖는 능동 보정 모듈
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제 1항에 있어서,상기 자기변형소자 액추에이터는, 상기 자기변형소자의 외측에 구비되며, 상기 자기변형소자의 변위를 가변시키도록 자기장 형성을 위한 제1 코일이 권취되는 제1 보빈부; 를 포함하며,상기 MR 댐퍼는,내부에 MR 유체가 충진되는 유체공간이 형성되고, 외부에 상기 MR 유체의 점도를 가변시키도록 자기장 형성을 위한 제2 코일이 권취되는 제2 보빈부;상기 제2 보빈부의 내부에 축 방향으로 왕복운동 가능하도록 끼워지되 상기 MR 유체의 점도 변화에 의해 감쇠력이 가변되는 MR 샤프트; 를 포함하는, 자기변형소자 액추에이터와 MR 댐퍼가 병렬 구조를 갖는 능동 보정 모듈
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제 3항에 있어서,상기 능동 보정 모듈은, 상기 자기변형소자의 변위에 의해 상하 회동하는 제1 보정부; 및상기 MR 댐퍼의 상측에 연결된 제2 보정부; 를 포함하며,상기 제1 보정부는 상기 링크의 하측 일단에 연결되고, 상기 제2 보정부는 상기 링크의 하측 타단에 연결되는, 자기변형소자 액추에이터와 MR 댐퍼가 병렬 구조를 갖는 능동 보정 모듈
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제 1항에 있어서,상기 능동 보정 모듈은,상기 링크의 상측이 상기 가공물 거치부 또는 상기 스테이지 중 어느 하나에 고정되며, 상기 자기변형소자 액추에이터 및 MR 댐퍼의 하측이 상기 가공물 거치부 또는 상기 스테이지 중 어느 하나에 고정되어,상기 가공물 거치부에 거치되는 가공물의 채터를 감쇄하는, 자기변형소자 액추에이터와 MR 댐퍼가 병렬 구조를 갖는 능동 보정 모듈
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제 3항에 있어서, 상기 능동 보정 모듈은,상기 가공물 거치부에 구비된 채터 감지 센서;상기 가공물 거치부에 구비된 변위 감지 센서; 및상기 가공물 거치부에 구비된 변위 감지 센서의 변위 신호를 통해 상기 제1 코일에 가해지는 전류를 제어하고, 상기 채터 감지 센서의 채터 신호를 통해 상기 제2 코일에 가해지는 전류를 제어하는 제어부;를 포함하는, 자기변형소자 액추에이터와 MR 댐퍼가 병렬 구조를 갖는 능동 보정 모듈
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제 6항에 있어서,상기 제어부는, 상기 가공물의 열 변형 시뮬레이션을 통해 산출된 상기 가공물의 시간에 따른 변위 신호가 저장된 데이터베이스를 통해 상기 변위 신호를 전달받아 상기 제2 코일에 가해지는 전류를 제어하는, 자기변형소자 액추에이터와 MR 댐퍼가 병렬 구조를 갖는 능동 보정 모듈
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