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곡면체의 간섭패턴 제작장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2018009315
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 곡면체의 간섭패턴 제작장치 및 그 방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 곡면체와 동일한 곡면을 가진 회절격자를 이용하여 곡면체의 표면에 균일한 간섭패턴을 제작할 수 있는 제작장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.본 발명에 따른 곡면체의 간섭패턴 제작장치는 광원부 및 패턴수단을 포함한다. 상기 광원부는 곡면체에 레이저빔을 발사한다. 상기 패턴수단은 상기 광원부에서 발사되는 레이저빔이 상기 곡면체에 일정한 패턴으로 조사되도록 상기 곡면체의 곡률과 동일한 곡률로 형성된 회절슬릿과, 상기 광원부에서 발사되어 상기 회절슬릿의 가장자리를 벗어난 레이저빔이 상기 곡면체에 노광되는 것을 차단할 수 있도록 상기 회절슬릿의 가장자리에서 연장된 제1광차단막을 구비한다.또한, 상기의 곡면체의 간섭패턴 제작장치에 있어서, 상기 패턴수단은 상기 회절슬릿을 통과한 빛이 상기 회절슬릿의 가장자리를 벗어나는 것을 방지하도록 상기 회절슬릿의 내측 곡률의 가장자리에서 돌기된 제2광차단막을 더 구비하는 것이 바람직하다.본 발명에 의하면 곡면체의 곡률과 동일한 곡률을 가진 회절슬릿에 광을 조사함으로써 곡면체의 곡면에서 광경로차를 보정할 수 있다. 그래서 곡면체에 형성되는 나노패턴의 정밀도를 높일 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/24 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01)
출원번호/일자 1020160181065 (2016.12.28)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0076665 (2018.07.06) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.28)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 마용원 대한민국 울산광역시 중구
2 신보성 대한민국 부산광역시 해운대구
3 김승철 대한민국 부산광역시 금정구
4 김규정 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1285289-17
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0015810-07
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0022289-25
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.08.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0560816-55
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0923437-77
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0983536-84
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-1057946-04
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1121644-56
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-1230404-39
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2018-0026524-35
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0026503-87
15 등록결정서
Decision to grant
2018.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0337827-16
16 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0553523-17
17 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0553055-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
곡면체에 레이저빔을 발사하는 광원부와,상기 광원부에서 발사되는 레이저빔이 상기 곡면체에 곡률을 따라 일정한 패턴으로 조사되도록 상기 곡면체의 곡률과 동일한 곡률로 형성된 회절슬릿과, 상기 광원부에서 발사되어 상기 회절슬릿의 가장자리를 벗어난 레이저빔이 상기 곡면체에 노광되는 것을 차단할 수 있도록 상기 회절슬릿의 가장자리에서 연장된 제1광차단막과, 상기 회절슬릿을 통과한 빛이 상기 회절슬릿의 가장자리를 벗어나는 것을 방지하도록 상기 회절슬릿의 내측 곡률의 가장자리에서 돌기된 제2광차단막을 구비한 패턴수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면체의 간섭패턴 제작장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 곡면체와 동일한 곡률을 가지며 상기 광원부와 상기 회절슬릿 사이에 위치한 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면체의 간섭패턴 제작장치
3 3
광원부에서 레이저빔을 발사하는 레이저빔발사단계와,곡면체와 곡률이 동일한 회절슬릿으로 만 상기 레이저빔이 통과하도록 상기 회절슬릿의 가장자리에 광을 차단하는 제1광차단막을 구비하는 패턴수단의 상기 회절슬릿에 상기 레이저빔을 통과시켜서 상기 곡면체에 곡률을 따라 일정한 패턴으로 조사되도록 상기 레이저빔을 노광시키는 노광단계와, 상기 노광단계에서 노광되는 상기 곡면체를 회전시키는 회전단계와,상기 회전단계에서 상기 곡면체가 회전될 때 상기 패턴수단과 상기 광원부를 상기 곡면체의 축방향으로 이동시키는 이동단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면체의 간섭패턴 제작방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 노광단계는 상기 곡면체에 상기 슬릿의 패턴이 교차하여 형성되도록 상기 패턴수단을 여러 각도로 회전하여 반복하여 노광시키는 것을 특징으로 하는 곡면체의 간섭패턴 제작방법
5 5
제4항에 있어서,상기 노광단계는 상기 회절슬릿을 통과한 빛이 상기 회절슬릿의 가장자리를 벗어나는 것을 방지하도록 상기 회절슬릿의 내측 곡률의 가장자리에서 돌기된 제2광차단막을 더 구비하는 상기 패턴수단에 상기 레이저빔을 노광시키는 것을 특징으로 하는 곡면체의 간섭패턴 제작방법
6 6
삭제
7 7
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8 8
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9 9
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (재)경남테크노파크 산업기술혁신사업 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터