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1
기재,상기 기재의 일면에 매립되어 있으며 상기 일면에 수평한 방향으로 서로 이격되어 있는 제1 전극 및 제2 전극을 포함하는 제1 캐패시터,상기 기재의 타면에 매립되어 있으며 상기 타면에 수평한 방향으로 서로 이격되어 있는 제3 전극 및 제4 전극을 포함하는 제2 캐패시터를 포함하고,상기 기재는 산화 그래핀으로 이루어지고,상기 제1 전극, 제2 전극, 제3 전극 및 제4 전극은 상기 기재를 이루는 상기 산화 그래핀이 환원된 환원 그래핀으로 이루어지는 박막 슈퍼캐패시터
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2
제1항에서,상기 제1 캐패시터의 제1 전극 및 제2 전극과 상기 제2 캐패시터의 제3 전극 및 제4 전극은 상기 기재를 사이에 두고 상기 기재의 두께 방향으로 이격되어 있는 박막 슈퍼캐패시터
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3
제1항에서,상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 각각 상기 제2 전극 및 제4 전극을 향해서 돌출한 복수의 제1 보조 가지 전극과 상기 제1 보조 가지 전극들을 연결하는 제1 주 가지 전극을 포함하고,상기 제2 전극 및 상기 제4 전극은 각각 상기 제1 전극 및 제3 전극을 향해서 돌출한 복수의 제2 보조 가지 전극과 상기 제2 보조 가지 전극들을 연결하는 제2 주 가지 전극을 포함하고,상기 제1 보조 가지 전극 및 제2 보조 가지 전극은 일정한 간격을 두고 교대로 배열되어 있는 박막 슈퍼캐패시터
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4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 박막 슈퍼캐패시터로 이루어지는 단위 캐패시터,상기 단위 캐패시터와 교대로 적층되어 있는 이온 주입층을 포함하고,상기 이온 주입층은 상기 제1 전극, 제2 전극, 제3 전극 및 제4 전극과 접촉하는 슈퍼캐패시터
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5
제4항에서,상기 이온 주입층은 겔상의 전해질인 슈퍼캐패시터
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6
제5항에서,상기 이온 주입층은 전해질 용액과 폴리머 겔을 포함하고,상기 전해질 용액은 황산(H2SO4) 수용액, 인산(H3PO4) 수용액 또는 수산화칼륨(KOH) 수용액 중 어느 하나이고,상기 폴리머 겔은 PVA (Poly Vinyl Alcohol), PEO (Poly Ethylene Oxide) 또는 PVDF-HFP(hexaluoropropylene) 중 어느 하나인 슈퍼캐패시터
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7
산화 그래핀으로 이루어지는 기재를 준비하는 단계,대물 렌즈를 통해서 상기 기재의 일면에 레이저 빔을 조사하여 환원 그래핀으로 이루어지는 제1 전극 및 제2 전극을 포함하는 제1 캐패시터를 형성하는 단계,상기 대물 렌즈를 통해서 상기 기재의 타면에 레이저 빔을 조사하여 환원 그래핀으로 이루어지는 제3 전극 및 제4 전극을 포함하는 제2 캐패시터를 형성하는 단계를 포함하는 박막 슈퍼 캐패시터의 제조 방법
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제7항에서,상기 레이저 빔은 상기 기재 두께의 1/2미만의 깊이로 조사하는 박막 슈퍼캐패시터의 제조 방법
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제8항에서,상기 레이저 빔은 상기 기재 두께의 1/3이하의 깊이로 조사하는 박막 슈퍼캐패시터의 제조 방법
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10
제8항에서,상기 레이저 빔의 파장(λ)은 400nm이상인 박막 슈퍼캐패시터의 제조 방법
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11
제7항에서,상기 기재의 두께는 100㎛이하이고, 상기 대물 렌즈의 배율은 10배(×10) 이상인 박막 슈퍼캐패시터의 제조 방법
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제7항에서,상기 레이저 빔의 조사 속도는 500㎛/sec∼2,000㎛/sec이고,상기 레이저 빔의 세기(power)는 15mW∼100mW인 박막 슈퍼 캐패시터의 제조 방법
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