요약 | 본 발명의 기술적 사상에 의한 일 양태에 따르면, 벌크 실리콘 기판, 및 벌크 실리콘 기판 상에 위치하며 Ge, GeSi 및 이들의 조합 중 어느 하나로 이루어진 광 도파로(waveguide)을 포함하는 광 소자가 개시된다. |
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Int. CL | H01L 33/02 (2010.01.01) H01L 33/00 (2010.01.01) H01L 33/58 (2010.01.01) |
CPC | H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020160182931 (2016.12.29) |
출원인 | 국민대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2018-0078003 (2018.07.09) 문서열기 |
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국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 1 |