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복수의 빔라인과 대응되어 방사형으로 배치되는 복수의 타겟;각 타겟 방향으로 회전 가능하게 마련되어 전자 빔을 가속하기 위한 선형 가속기; 및RF 소스를 전달하는 도파관과 상기 선형 가속기를 서로 회동 가능하게 연결하는 로터리 조인트;를 포함하고,상기 로터리 조인트는,상기 도파관과 조립되어 구형의 도파로를 형성하는 제1플랜지부;상기 제1플랜지부와 연통되어 RF 신호의 전송 모드 변환이 이루어지는 제1모드변환부;상기 제1모드변환부와 원형의 도파로를 갖고 연결되는 제1회전몸체부를 포함하며,상기 제1회전몸체부는, 상단의 제1모드변환부와 인접한 개구부의 직경(D2)이 상기 개구부 하부의 직경(D1)보다 크게 형성되어 단차(d1)를 갖도록 구성되는, 다중빔 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 선형 가속기를 지지하여 회동 가능한 턴테이블을 더 포함하는 다중빔 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 선형 가속기와 각 타겟은 탈부착 가능한 진공피팅에 의해 연결됨을 특징으로 하는 다중빔 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 로터리 조인트는,상기 선형 가속기와 조립되는 구형의 도파로를 형성하는 제2플랜지부;상기 제2플랜지부와 연통되어 RF 신호의 전송 모드 변환이 이루어지는 제2모드변환부;상기 제1회전몸체부와 회동 가능하게 조립되어 상기 제2모드변환부와 원형의 도파로를 갖고 연결되는 제2회전몸체부;상기 제1회전몸체부와 상기 제2회전몸체부의 회전마찰을 저감하기 위한 베어링부재; 및상기 제1회전몸체부와 상기 제2회전몸체부 사이의 기밀을 위한 기밀부재;를 더 포함하는, 다중빔 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 제1회전몸체부와 상기 제1모드변환부의 단부 측벽은 단차(d2)를 갖고 상기 제1모드변환부의 측벽이 상기 제1회전몸체부의 원형 횡단면 안쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중빔 발생장치
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제4항에 있어서, 상기 기밀부재는 상기 제1회전몸체부와 상기 제2회전몸체부의 서로 대면하는 수직면 사이에 삽입되는 에너자이드 씰인 것을 특징으로 하는 다중빔 발생장치
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제7항에 있어서, 상기 에너자이드 씰은,요홈을 갖는 고리 형상의 재킷과;탄성을 갖고 상기 재킷의 요홈 내에 삽입되는 스프링을 포함하는 다중빔 발생장치
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