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기판;상기 기판의 일면 또는 양면에 산화알루미늄 입자를 분사하여 제조된 마스터배치;상기 마스터배치의 상부에 성장시킨 수직 배열 탄소나노튜브(CNT); 및상기 탄소나노튜브(CNT)의 상부에 도포된 신축성 탄성물질;을 포함하고,상기 마스터배치는 불규칙한 표면을 구현하는 것을 특징으로 하는, 탄소나노튜브(CNT) 네트워크 필름
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제1항에 있어서,상기 기판은 Si를 포함하는 것을 특징으로 하는, 탄소나노튜브(CNT) 네트워크 필름
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제1항에 있어서,상기 신축성 탄성 물질은 PDMS(polydimethylsiloxane), 하이드로겔(hydrogel), PUA(polyurethane acrylate), TPU(thermoplastic polyurethane), PVA(polyvinyl alcohol), 에코플렉스(Ecoflex), SBR(styrene butadiene rubber), NBR(nitrile butadiene rubber), PMMA(polymethyl methacrylate), PVDF(polyvinylidene fluoride), PI(polyimide) 또는 이의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 탄소나노튜브(CNT) 네트워크 필름
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기판을 준비하는 제1단계;상기 기판의 일면 또는 양면에 산화알루미늄 입자를 분사하여 마스터배치를 제조하는 제2단계;상기 마스터배치의 상부에 수직 배열 탄소나노튜브(CNT)를 성장시키는 제3단계;상기 수직 배열 탄소나노튜브(CNT)의 상부에 신축성 탄성물질을 도포하여 수직 배열 탄소나노튜브(CNT)/신축성 탄성물질 복합체를 제조하는 제4단계; 및 상기 복합체를 마스터배치로부터 분리하는 제5단계;를 포함하고, 상기 마스터배치는 불규칙한 표면을 구현하는 것을 특징으로 하는, 복합체 전극의 제조방법
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제4항의 복합체 전극의 제조방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는, 복합체 전극
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기판;상기 기판의 일면 중 일부 또는 전부에 도입된 탄소나노튜브(CNT) 네트워크 필름;을 구비하는 압력 센서이고,상기 탄소나노튜브(CNT) 네트워크 필름은 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 탄소나노튜브(CNT) 네트워크 필름이며, 상기 기판에 도입된 탄소나노튜브 네트워크 필름을 적층하는 것을 특징으로 하는, 탄소나노튜브(CNT) 네트워크 필름을 포함하는 압력 센서
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