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그의 상부에 형성된 리세스 영역을 갖는 캐소드 전극; 및상기 캐소드 전극의 상기 리세스 영역 내에 제공되는 팁 형상의 전자방출 얀(yarn)을 포함하되,상기 전자방출 얀은 상기 캐소드 전극의 상기 리세스 영역의 내측면으로부터 이격되고,상기 전자방출 얀은 상기 캐소드 전극의 상면으로부터 돌출되는 전자 방출원
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제 1 항에 있어서,상기 전자방출 얀은 상기 리세스 영역의 바닥면으로부터 상기 캐소드 전극의 상면에 수직한 방향으로 연장되는 전자 방출원
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제 1 항에 있어서,단일 홀을 가지고, 상기 전자방출 얀과 일정 거리를 유지한 채, 상기 전자방출 얀의 상부에 위치하는 게이트 전극을 더 포함하는 전자 방출원
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제 4 항에 있어서,상기 게이트 전극의 일면에 배치되어, 상기 게이트 전극의 홀을 덮는 전자 빔 투과층을 더 포함하는 전자 방출원
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제 4 항에 있어서,상기 캐소드 전극으로부터 상기 게이트 전극보다 먼 위치에 제공되고, 단일 홀을 갖는 집속 전극을 더 포함하는 전자 방출원
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제 6 항에 있어서,상기 집속 전극의 홀의 직경은 상기 게이트 전극의 홀의 직경보다 큰 전자 방출원
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제 1 항에 있어서,상기 전자방출 얀은 탄소 나노 튜브(carbon nano tube: CNT)를 포함하는 전자 방출원
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제 4 항에 있어서,상기 게이트 전극의 홀의 직경은 상기 전자방출 얀의 폭보다 큰 전자 방출원
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그의 상부에 형성된 리세스 영역을 갖는 캐소드 전극; 및상기 캐소드 전극의 상기 리세스 영역 내에 제공되는 팁 형상의 전자방출 얀(yarn)을 포함하되,상기 전자방출 얀은 상기 캐소드 전극의 상기 리세스 영역의 내측면으로부터 이격되고,상기 캐소드 전극은 상기 리세스 영역의 바닥면으로부터 상기 캐소드 전극의 내부를 향하여 형성되는 홈을 갖고,상기 전자방출 얀은 상기 홈에 삽입되어, 상기 캐소드 전극과 기계적으로 결합되고,상기 캐소드 전극은 수평으로 서로 분리되고, 상기 전자방출 얀을 기준으로 대칭되는 제 1 부분 및 제 2 부분을 갖되,상기 홈은:상기 제 1 부분에서 상기 리세스 영역과 연결되는 제 1 홈; 및상기 제 2 부분에서 상기 리세스 영역과 연결되고, 상기 제 1 홈에 대응되는 제 2 홈을 갖고,상기 전자방출 얀은 상기 제 1 홈 및 상기 제 2 홈에 결합되는 전자 방출원
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전자 방출원;상기 전자 방출원에서 발생한 전자 빔이 진행하는 진공 관;상기 전자 빔의 진행 경로 상에 배치되도록 상기 진공 관에 부착되고, 상기 전자 빔과의 충돌에 의해 엑스선을 방출하는 타겟; 및상기 진공 관 외측에 배치되어, 상기 전자 빔의 진행 경로를 제어하는 자기 렌즈를 포함하되,상기 전자 방출원은: 지지부 및 상기 지지부 상에 배치되는 전위 제어부를 갖는 캐소드 전극; 및 상기 전위 제어부를 수직 관통하는 관통홀 내에 제공되는 팁 형상의 전자방출 얀을 포함하는 엑스선 발생장치
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제 12 항에 있어서,상기 전자 방출원과 상기 자기 렌즈 사이에 배치되는 정렬 코일을 더 포함하는 엑스선 발생장치
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제 12 항에 있어서,상기 전자 방출원과 상기 자기 렌즈 사이에서 전자 빔의 진행 경로 상에 배치되는 전자 빔 제어층을 더 포함하는 엑스선 발생장치
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