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대구경회전체를 가진 산업용 3D Oblique-CT 검사 장비
- 기술번호 : KST2018009942
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명의 3D OCT 검사장비는 미소면적의 전자 부품뿐만 아니라 대면적의 웨이퍼나 적층된 반도체 칩과 같이 평평한 물체의 표면 혹은 내부구조를 촬영하여 물체의 제조 불량 등을 검사 할 수 있게 한다. 기존의 장비들은 X-ray 촬영기를 테이블의 하단에 위치시키고 디텍터를 테이블의 상단에 위치시킨 구조인 반면 본 발명에서는 X-ray 촬영기와 디텍터의 위치를 변경시켜 물체의 배율 측면에서 장점을 가지며 저진동 회전을 가능하게 하는 밸트-풀리 시스템을 사용하여 고정밀 촬영을 가능하게 하는 고성능 산업용 OCT 검사장비의 구조를 제안 한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 23/04 (2018.01.01) |
| CPC | G01N 23/046(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020170001729 (2017.01.05) |
| 출원인 | 한양대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2018-0080780 (2018.07.13) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 1 |