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발광 트랜지스터 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2018009999
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 발광 트랜지스터 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 1 전극; 상기 제 1 전극에 전기적으로 연결되고, 서로 대향하는 제 1 면 및 제 2 면을 갖는 P 형 반도체; 상기 P 형 반도체의 상기 제 1 면에 결합된 절연막을 포함하는 게이트 전극; 상기 P 형 반도체의 상기 제 2 면과 PN 접합을 형성하는 N 형 반도체; 및 상기 N 형 반도체에 전기적으로 연결되는 제 2 전극을 포함하며, 상기 절연막을 포함하는 게이트 전극은 상기 P 형 반도체에 전계를 인가하여 상기 P 형 반도체의 정공 농도 및 페르미 레벨 중 적어도 하나를 제어하는 발광 트랜지스터가 제공될 수 있다.
Int. CL H01L 33/00 (2010.01.01) H01L 33/50 (2010.01.01) H01L 29/10 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 33/58 (2010.01.01)
CPC H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01) H01L 33/0041(2013.01)
출원번호/일자 1020170002548 (2017.01.06)
출원인 연세대학교 산학협력단, 가천대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0081387 (2018.07.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.06)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 가천대학교 산학협력단 대한민국 경기도 성남시 수정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 명재민 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 이상훈 대한민국 서울특별시 영등포구
3 이수정 대한민국 서울특별시 광진구
4 김종우 대한민국 경기도 남양주시
5 이태일 대한민국 경기도 성남시 수정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김권석 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 가천대학교 산학협력단 대한민국 경기도 성남시 수정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0021352-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0010359-04
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0042042-52
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0268806-14
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-0379416-92
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-0485361-88
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.05.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0485370-99
9 등록결정서
Decision to grant
2018.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0632821-30
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번호 청구항
1 1
제 1 전극; 상기 제 1 전극에 전기적으로 연결되고, 서로 대향하는 제 1 면 및 제 2 면을 갖는 P 형 반도체; 상기 P 형 반도체의 상기 제 1 면 상에 형성된 절연막 및 상기 절연막 상의 게이트 전극; 상기 P 형 반도체의 상기 제 2 면과 PN 접합을 형성하는 N 형 반도체; 및상기 N 형 반도체에 전기적으로 연결되는 제 2 전극을 포함하며, 상기 게이트 전극은 상기 P 형 반도체에 전계를 인가하여 상기 P 형 반도체의 정공 농도 및 페르미 레벨 중 적어도 하나를 제어하고,상기 P 형 반도체는 직접 밴드갭 특성을 갖는 적어도 하나 이상의 P 형 다공성 실리콘 나노 와이어를 포함하고, 상기 N 형 반도체는 N 형 산화 아연 나노 박막을 포함하는 발광 트랜지스터
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 절연막과 상기 P형 반도체의 상기 제 1 면 사이에 상기 N형 반도체가 더 형성된 발광 트랜지스터
3 3
제 1 항에 있어서,상기 P 형 다공성 실리콘 나노 와이어의 종횡비는 700 내지 813 범위 내인 발광 트랜지스터
4 4
제 1 항에 있어서,상기 P 형 다공성 실리콘 나노 와이어는 003c#100003e# 방향으로 우선 배향된 단결정을 갖는 발광 트랜지스터
5 5
제 1 항에 있어서,상기 P 형 다공성 실리콘 나노 와이어는, 300 ㎚ 내지 800 ㎚ 범위의 가시 광선 영역에서, 단일 피크가 1
6 6
제 1 항에 있어서,상기 P 형 다공성 실리콘 나노 와이어의 표면에 나노 크기의 표면 거칠기와 다공성으로 인해 양자 구속 효과가 발생되는 발광 트랜지스터
7 7
제 1 항에 있어서,상기 N 형 산화 아연 나노 박막의 두께는 90 ㎚ 내지 120 ㎚ 범위 내인 발광 트랜지스터
8 8
제 1 항에 있어서,상기 N 형 산화 아연 박막은 300 ㎚ 내지 800 ㎚ 범위의 가시 광선 영역 중 자외선 영역과 적색 계열 영역에 대응하는 두 개의 피크를 가지며,상기 적색 계열 영역에 대응하는 피크가 1
9 9
제 1 항에 있어서,상기 P 형 반도체에 음의 전계가 인가될 시, 상기 P 형 반도체와 상기 N 형 반도체 사이의 접합에서 전위 에너지 차이가 증가하여, 상기 P 형 반도체의 페르미 레벨은 전도대 에지로 이동하고, 전달되는 캐리어의 양이 증가되며, 상기 P 형 반도체에 양의 전계가 인가될 시, 상기 P 형 반도체와 상기 N 형 반도체 사이의 접합에서 전위 에너지 차이가 감소하여, 상기 P 형 반도체의 페르미 레벨은 가전자대 에지로 이동하고, 전달되는 캐리어의 양이 감소되는 발광 트랜지스터
10 10
제 1 항에 있어서,적색 계열 영역에 대응하는 피크가 1
11 11
제 1 항에 있어서,상기 게이트 전극은, 열 성장된 실리콘 산화물 층을 갖는 고농도로 도핑된 P 형 실리콘 기판을 포함하는 발광 트랜지스터
12 12
제 1 항에 있어서,상기 P 형 반도체와 상기 N 형 반도체 사이의 PN 접합은 마이크로광루미네선스 방출 피크를 발생시키는 적어도 일부 비정질상을 갖는 발광 트랜지스터
13 13
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 적어도 하나의 제 1 전극 및 상기 적어도 하나의 제 1 전극과 이격된 적어도 하나 이상의 더미 전극을 형성하는 단계;상기 적어도 하나 이상의 제 1 전극과 상기 적어도 하나 이상의 더미 전극 사이를 가로질러 P 형 반도체를 형성하는 단계;상기 형성된 P 형 반도체 상에 N 형 반도체를 형성하는 단계; 및상기 형성된 N 형 반도체 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 P 형 반도체는 직접 밴드갭 특성을 갖는 적어도 하나 이상의 P 형 다공성 실리콘 나노 와이어를 포함하고, 상기 N 형 반도체는 N 형 산화 아연 나노 박막을 포함하는 발광 트랜지스터의 제조 방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 P 형 반도체는 상기 적어도 하나 이상의 제 1 전극과 상기 적어도 하나 이상의 더미 전극을 이용하는 유전영동 정렬에 의해 형성되는 발광 트랜지스터의 제조 방법
15 15
제 13 항에 있어서,상기 제 2 전극을 형성하는 단계는, 상기 형성된 N 형 반도체 상에 제 2 전극을 패터닝하는 단계상기 패터닝된 제 2 전극 상에 식각 마스크를 형성하는 단계;상기 식각 마스크를 이용하여 상기 제 2 전극의 하지의 상기 N 형 반도체를 제외한 나머지 영역의 상기 N형 반도체 일부를 식각하는 단계; 및상기 식각 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 발광 트랜지스터의 제조 방법
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삭제
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제 1 전극; 상기 제 1 전극에 전기적으로 연결되고, 서로 대향하는 제 1 면 및 제 2 면을 갖는 P 형 반도체; 상기 P 형 반도체의 상기 제 1 면 상에 형성된 절연막 및 상기 절연막 상의 게이트 전극; 상기 P 형 반도체의 상기 제 2 면과 PN 접합을 형성하는 N 형 반도체; 및 상기 N 형 반도체에 전기적으로 연결되는 제 2 전극을 포함하며,상기 게이트 전극은 상기 P 형 반도체에 전계를 인가하여 상기 P 형 반도체의 정공 농도 및 페르미 레벨 중 적어도 하나를 제어하고,상기 P 형 반도체는 직접 밴드갭 특성을 갖는 적어도 하나 이상의 P 형 다공성 실리콘 나노 와이어를 포함하고, 상기 N 형 반도체는 N 형 산화 아연 나노 박막을 포함하는 발광 트랜지스터를 포함하는 광학 부재
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.